東土科技持續加快自主研發和創新的步伐，不斷提升解決方案完整性和自主可控能力，在剛剛過去的2024年，東土科技智能控制器產品和方案在半導體行業關鍵設備領域實現了批量應用。憑借在半導體行業關鍵設備的應用方案，東土科技榮獲CMCD年度運動控制領域行業應用獎。

這是行業對東土創新能力、技術實力和市場表現的權威認可，也見證了我們對卓越品質的不懈追求和對客戶需求的深刻理解，該方案之所以在高技術要求的半導體行業獲得認可，主要是因為如下特性：

靈活高效的基礎架構

東土科技的NewPre智能控制器產品為PC架構，其運算快、存儲空間大、靈活部署的特點，能為多種運算平臺、AI技術應用（策略優化、預測性維護）、數字孿生仿真技術應用提供基礎條件，這樣的架構也為工業智能化和自動化水平的提升提供了有力支持。

該架構得益于Intewell(鴻道)操作系統的底層支撐，Intewell基于微內核架構設計，實時響應性能達到微秒級，半導體關鍵制程設備對生產質量要求極高，任何缺陷都可能導致產品失效，Intewell這種虛擬化、高實時，確定性、高可靠的特點，非常適合處理晶圓加工控制過程。

實時+非實時底層構型，并兼具控制功能

實時+非實時底層構型兼容MaVIEW控制軟件，可以實現控制程序的多任務、多語言編譯和運行，精密控制設備運行，例如，在薄膜沉積領域，實時系統中運行的控制程序需要進行溫度和壓力的精確控制，防止前驅體低溫未完全活化、冷凝和高溫分解，還需控制沉積速率確保充分覆蓋和填充，控制系統需要進行多任務同步才能保證精確執行工藝步驟。

功能和數據接口的定制化

NewPre系列智能控制器支持廠家自定義數據API與實時系統的無縫銜接，為廠家提供共享內存通道，實現1ms級別周期交互，軟件系統內部功能組件和數據接口可以自由定義和組合，使半導體設備腔室的過程數據經過實時與非實時之間的數據接口進行傳輸，這為半導體設備廠商從控制角度做工藝優化和技術革新提供了條件，使系統更加實時、交互更加方便、運行更加流暢，從而大幅提升設備穩定性和可靠性。

便捷的通訊接口

除了常規配置的以太網、USB等PC常見接口外，還可以進行虛擬化配置和軟協議棧加載，使多設備交互更靈活，熱連接功能可靈活快速切換EtherCAT在線從站，特別適應半導體設備，另外，半導體設備通常布設若干串口設備，以往用一臺串口服務器匯總后再上傳到上位機，這種方式非常浪費空間，集成度低，故障風險大，控制器多串口配置可以實現多路串口從站直接與控制器對接，提高集成度，減少延時，節約空間，降低故障風險，更加穩定可靠。

智能控制器還支持自主技術的AUTBUS總線，AUTBUS由東土科技主導推出，已建立國際標準和國家標準，可以解決復雜系統IPV6 統一尋址問題和確定性通信問題，實現了控制協議和工業控制協議全IP化，支撐半導體行業工業控制通信的多設備互聯互通。

散熱極致優化，體積縮小到傳統設備的一半

半導體生產對潔凈車間要求高，自動化組件的空間占用要毫厘必爭，在以往的控制系統，主要控制核心為多臺工控機和嵌入式PLC，空間占用大，智能控制器將工控機的功能和高性能PLC的功能集成，經過精細設計的散熱方案，使控制器體積占用僅為原來的一半，提高了潔凈空間利用率。

自主可控

當前，核心控制軟件在提升半導體生產制造效率、提高產品質量效能等方面的重要作用愈發突出，智能控制器內嵌的Intewell操作系統和MaVIEW控制工具軟件為東土全自主研發，Intewell已通過了多個權威機構的第三方測評，內核及主要功能模塊自主率達到100%，MaVIEW軟件使用自主開發的編譯器、運行態控制軟件，能夠完美協同半導體設備的控制系統開發過程，目前已實際應用于半導體晶圓廠，從而為行業設備注入更多自主核心技術。

從2013年開始，公司就提出了“軟件定義未來、承載人工智能”的發展戰略，在當前國家新型工業化發展戰略的大背景下，東土科技承擔著國家“新型工業操作系統”的開發重任， 目前已實現了AI大模型與工業機器人、大模型與自動化機臺的融合系統構建，成功將AI技術應用到運動控制任務中，為客戶創造更多價值。展望未來，東土科技作為“中國PC控制引領者”將堅持走“國產自主可控”的發展道路，與眾多伙伴攜手，用技術創新為國產半導體裝備注入“自主魂”。

審核編輯 黃宇