
濱松的銦鎵砷(InGaAs)紅外相機工作波段從400nm到1700nm,相當于可以覆蓋可見光到近紅外波段。濱松紅外相機具有高靈敏度、高分辨、低壞點率及低噪聲等特點。非常適合用于半導體缺陷檢測、光通信、光致發光等應用。
對于一些應用來說,我們需要進一步分析光斑強度的二維及三維分布,光斑尺寸,圓度等參數。我們基于濱松的銦鎵砷紅外相機開發出了多功能光斑分析儀軟件,可測量光斑直徑為 50μm,另外可定制光斑放大裝置,可實現最小5um的光斑檢測,可以實現 400nm-1700nm 波段內的激光光斑測量及光束指向在線監測,包括光斑尺寸, 圓度,功率及指向偏移,并對光強能量場進行二維和三維顯示。

相機參數

軟件功能

實測效果圖
1550nm激光器的光斑實測結果如下:

1310nm激光器的光斑實測結果如下:

審核編輯 黃宇
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