2024年13類主要半導體設備中國大陸進口金額同比增加8.5％
2025年1月20日，海關統計數據在線查詢平臺公布了2024年13類主要半導體設備進口29367臺，同比增加4.6％，進口金額196.12億美元，同比增長8.5％。
2024年，化學氣相沉積設備(CVD)和等離子體干法刻蝕機進口額仍然是進口金額最大的二類半導體制造設備，占13類主要半導體設備進口總金額的64.5％。
2024年，離子注入機進口金額增長最快，同比增長35.9％。分步重復光刻機、硅單晶爐和塑封壓機等三類半導體設備進口金額分別減少51.1%、41.1%和31.20%。
2024年13類主要半導體設備中國大陸進口數據表
| 設備名稱 | 進口量（臺） | 進口金額(萬美元) | |||
|
2024年 1-12月 |
同比增長％ |
2024年 1-12月 |
同比增長％ | ||
| 1 | 硅單晶爐 | 58 | -37.0% | 4,872.0 | -41.1% |
| 2 | 研磨機 | 562 | -8.8% | 38,264.2 | -12.2% |
| 3 | 切割設備 | 933 | -18.5% | 21,919.9 | -27.0% |
| 4 | 化學機械拋光機CMP | 371 | -10.2% | 66,754.4 | 0.2% |
| 5 | 氧化擴散爐 | 1,669 | -3.4% | 209,164.5 | 15.6% |
| 6 | 化學氣相沉積設備CVD | 1,836 | 3.3% | 544,348.1 | 11.4% |
| 7 | 物理氣相沉積設備PVD | 626 | -1.9% | 179,623.7 | 27.7% |
| 8 | 分步重復光刻機 | 240 | -18.9% | 81,002.3 | -51.1% |
| 9 | 等離子體干法刻蝕機 | 1,551 | 5.1% | 52,1045.9 | 18.5% |
| 10 | 離子注入機 | 553 | 30.1% | 181,034.7 | 35.9% |
| 11 | 塑封壓機 | 123 | -35.3% | 6,334.6 | -31.1% |
| 12 | 引線鍵合機 | 10,873 | 22.8% | 61,761.8 | 21.2% |
| 13 | 集成電路工廠專用自動搬運機器人 | 9,972 | -4.2% | 45,107.6 | -9.1% |
| 合 計 | 29,367 | 4.6% | 1,961,233.7 | 8.5% | |
2024年化學氣相沉積設備發貨地情況表（進口額前五名）
| 新加坡 | 韓國 | 日本 | 美國 | 馬來西亞 | |
| 數量(臺) | 511 | 257 | 530 | 204 | 71 |
| 進口額(萬美元) | 283,757.4 | 82,698.6 | 68,901.6 | 33,957.3 | 30,475.5 |
2024年化學氣相沉積設備等進口收貨地情況表（進口額前五名）
| 上海市 | 廣東省 | 安徽省 | 江蘇省 | 北京 | |
| 數量(臺) | 260 | 247 | 273 | 301 | 232 |
| 進口額(萬美元) | 122,001.7 | 84,338.1 | 75,654.9 | 66,974.6 | 58,495.1 |
2024年等離子體干法刻蝕機進口發貨地情況表（進口額前五名）
| 日本 | 馬來西亞 | 中國臺灣 | 美國 | 韓國 | |
| 數量(臺) | 488 | 161 | 179 | 206 | 101 |
| 進口額(萬美元) | 217,396.1 | 124,925.1 | 86,653.8 | 33,113.3 | 29,509.1 |
2024年離子體干法刻蝕機進口收貨地情況表（進口額前五名）
| 廣東省 | 上海市 | 北京市 | 安徽省 | 江蘇省 | |
| 數量(臺) | 265 | 247 | 367 | 123 | 219 |
| 進口額(萬美元) | 133,305.7 | 100,313.9 | 68,768.8 | 67,825.6 | 44,944.2 |
2024年氧化擴散爐發貨地情況表（進口額前五名）
| 日本 | 美國 | 新加坡 | 德國 | 韓國 | |
| 數量(臺) | 1,071 | 249 | 83 | 111 | 64 |
| 進口額(萬美元) | 99,825.7 | 59,109.4 | 24,239.7 | 15,536.7 | 6,310.5 |
2024年氧化擴散爐收貨地情況表（進口額前五名）
| 上海市 | 廣東省 | 北京市 | 江蘇省 | 四川省 | |
| 數量(臺) | 349 | 251 | 168 | 332 | 95 |
| 進口額(萬美元) | 51,266.2 | 36,521.7 | 26,071.8 | 25,242.4 | 17,840.0 |
2024年離子注入機進口發貨地情況表（進口額前三名）
| 美國 | 韓國 | 日本 | 其他 | |
| 數量(臺) | 429 | 28 | 64 | 32 |
| 進口額(萬美元) | 142682.1 | 17019.9 | 16245.2 | 97.2% |
2024年離子注入機收貨地情況表（進口額前五名）
| 數量(臺) | 廣東省 | 上海市 | 江蘇省 | 浙江省 | 北京市 |
| 數量(臺) | 106 | 112 | 69 | 56 | 58 |
| 進口額(萬美元) | 37959.1 | 31780.5 | 22321.3 | 20273.6 | 17999.8 |
2024年物理氣相沉積裝置進口發貨地情況表（進口額前五名）
| 新加坡 | 美國 | 英國 | 臺灣 | 日本 | |
| 數量(臺) | 184 | 132 | 41 | 102 | 73 |
| 進口額(萬美元) | 117221.0 | 25354.5 | 10453.6 | 8604.5 | 7426.5 |
2024年物理氣相沉積裝置收貨地情況表（進口額前五名）
| 數量(臺) | 廣東省 | 上海市 | 江蘇省 | 山東省 | 四川省 |
| 數量(臺) | 110 | 128 | 124 | 28 | 24 |
| 進口額(萬美元) | 43610.5 | 37569.1 | 25060.4 | 15306.3 | 12413.8 |
（數據來自海關統計數據在線查詢平臺）
2024年1-12月中國制造半導體器件或集成電路用的機器及裝置進口量及金額增長情況
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審核編輯 黃宇
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