在批量生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)超高精度，Coherent HyperRapid NXT 是一款綠光 USP 激光器，可進(jìn)行大批量精密材料加工。新型 Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款工業(yè)超短脈沖 (USP) 激光器，可提供高功率 (100 W) 綠光輸出和始終如一的光束質(zhì)量組合。因此它能夠支持需要高吞吐量的要求嚴(yán)格的高精度材料加工應(yīng)用。

高通量太陽(yáng)能電池劃片

Coherent HyperRapid NXT 的一個(gè)主要用途是對(duì)由鈣鈦礦等薄膜材料或背電極交叉接觸太陽(yáng)能電池板等創(chuàng)新技術(shù)制成的下一代太陽(yáng)能電池進(jìn)行劃線和開(kāi)槽。該過(guò)程需要高功率、綠色、超短脈沖來(lái)提供必要的精度和所需的材料去除率(以及總體產(chǎn)量)。但這不僅僅關(guān)乎功率，還關(guān)乎制造商能否擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，同時(shí)仍確保無(wú)可挑剔的質(zhì)量和成本效益。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的一個(gè)關(guān)鍵因素是光束質(zhì)量。

光束質(zhì)量在該應(yīng)用中起著如此關(guān)鍵的作用，是因?yàn)?a href="http://m.xsypw.cn/v/tag/4854/" target="_blank">光學(xué)系統(tǒng)中經(jīng)常使用 衍射光學(xué)元件 (DOE)來(lái)轉(zhuǎn)換激光束。DOE 可以將輸入的激光束分成多束，從而可以同時(shí)處理太陽(yáng)能電池上的幾個(gè)不同區(qū)域。這種并行處理極大地提高了吞吐量。其他工藝使用 DOE 將圓形高斯強(qiáng)度分布激光束轉(zhuǎn)換為強(qiáng)度均勻的方形光束，以優(yōu)化燒蝕工藝本身。

這里的挑戰(zhàn)是 DOE 需要非常圓形的輸入光束才能達(dá)到理想性能。此外，光束特性必須隨時(shí)間保持穩(wěn)定。如果它們不穩(wěn)定，則系統(tǒng)的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)將會(huì)發(fā)生改變，從而導(dǎo)致工藝不一致。

然而，很難從高功率綠色 USP 激光器獲得隨時(shí)間保持完全穩(wěn)定的高質(zhì)量光束。這是因?yàn)檫@些固體激光器使用非線性晶體將其紅外輸出轉(zhuǎn)換(頻率倍增)為綠光。但是高功率 USP 激光器的高脈沖能量可能會(huì)損壞或影響晶體，從而降低輸出光束質(zhì)量。

通過(guò)內(nèi)部生產(chǎn)我們自己的高質(zhì)量非線性晶體，相干公司能夠持續(xù)提供具有無(wú)與倫比穩(wěn)定性和壽命的綠色和紫外線高功率激光器。

相干公司制造了我們自己的非線性晶體，并且在為綠色和紫外線高功率激光器批量生產(chǎn)非線性晶體方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。簡(jiǎn)而言之，我們制造質(zhì)量更好的晶體，可以承受高功率綠色超短脈沖激光的極端操作環(huán)境，并且不會(huì)扭曲光束形狀。這是實(shí)現(xiàn) HyperRapid NXT 長(zhǎng)期輸出穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

面向高級(jí)應(yīng)用的高級(jí)功能

這種新型激光器不僅僅具有高功率。而且涉及智能功率。通過(guò)穩(wěn)定的功率調(diào)制、按需脈沖和可變重復(fù)率，它旨在提供超精密加工任務(wù)所需的精細(xì)度和控制力。

相干公司長(zhǎng)期以來(lái)一直通過(guò)多種產(chǎn)品支持超精密材料加工應(yīng)用。這些包括 USP 激光器，例如 Coherent HyperRapid 和 Monaco、我們的多種準(zhǔn)分子激光器，以及納秒脈沖寬度工業(yè)激光器，例如 AVIA LX 和 AVIA?NX。

Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款 100 W 綠色 USP 激光器，具有良好的性能和可靠性。

現(xiàn)在，我們正在幫助推動(dòng)這些應(yīng)用中的許多應(yīng)用進(jìn)入更大批量生產(chǎn)，同時(shí)又不犧牲這些激光器最初得到廣泛使用的優(yōu)勢(shì)，例如更平滑、更清潔的特色生產(chǎn)以及在去除材料的同時(shí)大限度減小熱影響區(qū)。特別是，Coherent HyperRapid NXT 532-100 有望提高薄膜太陽(yáng)能電池圖案化、電池箔切割、硅晶片劃線等具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用的生產(chǎn)效率。

審核編輯 黃宇