除了邁克爾遜干涉和Linnik型干涉外，常見的干涉設計還有多種，以下是一些主要的類型：

馬赫-增德爾（Mach-Zehnder）干涉：

原理：通過分束器將一束光分成兩束，這兩束光分別在不同的路徑中傳播，然后再通過另一個分束器重新組合。由于兩束光在傳播過程中可能經歷不同的光程，因此會產生干涉現象。

應用：馬赫-增德爾干涉儀常用于透射樣本的測量，如生物樣本、全息術等。

法布里-珀羅（Fabry-Perot）干涉：

原理：當一束光在兩個平行且部分透射的反射面之間多次反射和透射時，會形成多束相干光波的疊加，從而產生干涉現象。

應用：法布里-珀羅干涉儀常用于測量光波長、光學元件的厚度和折射率等。

薩格納克（Sagnac）干涉：

原理：當一束光在環形路徑上反射后，會形成兩個相反方向的干涉。干涉光強取決于光波的波長和環形路徑的長度。

應用：薩格納克干涉儀常用于測量旋轉速率，是光纖陀螺儀的核心部件，廣泛應用于民用、軍用飛機以及導彈導航等領域。

Mirau干涉：

特點：Mirau干涉儀通常具有一個物鏡和一個參考鏡，它們共同構成一個干涉系統。物鏡用于聚焦被測物體表面的反射光，而參考鏡則提供一個穩定的參考光波。

應用：Mirau干涉儀常用于表面形貌的測量，如光學元件的表面質量、薄膜的厚度和均勻性等。

外差干涉：

原理：外差干涉是一種利用多普勒移頻效應使光的頻率發生輕微改變，再與原來頻率的光相干，從而得到的差頻干涉光拍信號的技術。

應用：外差干涉技術具有測量精度高、抗干擾能力強等優點，常用于震動測量、面型測量等高精度測量領域。

白光干涉：

原理：白光干涉是利用白光作為光源進行干涉測量的技術。由于白光包含多種波長的光波，因此干涉條紋會呈現出彩色。通過分析干涉條紋的顏色和形狀，可以獲取被測物體的表面形貌和位移信息。

應用：白光干涉技術具有非接觸式測量、測量范圍廣、測量精度高等優點，常用于光學元件的檢測、表面粗糙度的測量以及三維形貌的重建等領域。

綜上所述，干涉技術具有廣泛的應用領域和重要的研究價值。不同類型的干涉設計具有不同的原理和特點，適用于不同的測量需求和場景。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態/靜態 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。

2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。

實際案例

1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。