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半導體設備中用的什么導軌 如何選型

天津福業 ? 2025-03-01 16:22 ? 次閱讀
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?導軌滑塊在半導體設備中的具體作用

?高精度運動控制?:ABBA導軌滑塊采用高品質合金鋼材和精密加工工藝,確保導軌與滑塊的表面平整度達到極高水平。這種超精密的配合使得滑塊在移動時摩擦均勻、穩定,有效減少了因表面微觀凹凸不平引發的跳動和位移誤差?。

?快速響應和定位精度?:導軌滑塊采用特有的滾動體排列方式,使得滑塊與導軌之間的摩擦由滑動摩擦轉變為滾動摩擦,大幅降低了運動過程中的粘滯力。這使得滑塊能夠快速響應指令,穩準地停留在目標位置,誤差控制在極小范圍內,確保光刻圖案的精準套刻,避免相鄰圖案之間的錯位和模糊?

?精度等級?:施耐博格導軌的精度等級包括G3(普通級)、G2(精密級)、G1(高精密級)和G0(超高精密級)。根據應用需求選擇合適的精度等級,例如普通機械可以選擇G3,而高精度設備如數控機床則選擇G1或G0?。

?預壓等級?:預壓等級影響滑塊和滑軌之間的間隙。預壓等級高的表示間隙小或為負間隙,滑動阻力大;預壓等級低的則相反?1

?組合高度類型?:主要有高組裝型和低組裝型,前者組合高度較高,后者較低。高組裝型通常現貨供應,低組裝型可能備貨較少,建議選擇高組裝型以減少訂貨等待時間?1

?潤滑接口和供貨狀態?:根據需求選擇合適的潤滑接口和供貨狀態,如油潤滑、少量脂潤滑或全部脂潤滑?。

?鍍層選擇?:根據使用環境選擇無鍍層或有強化鍍鉻的鍍層?

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