今日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布其等離子體刻蝕設備反應總臺數全球累計出貨超過5000臺。這包括CCP高能等離子體刻蝕機和ICP低能等離子體刻蝕機、單反應臺反應器和雙反應臺反應器共四種構型的設備。等離子體刻蝕機，是光刻機之外，最關鍵的、也是市場最大的微觀加工設備。由于微觀器件越做越小和光刻機的波長限制，也由于微觀器件從二維到三維發展，刻蝕機是半導體設備過去十年增長最快的市場。這一重要里程碑標志著中微公司在等離子體刻蝕設備領域持續得到客戶與市場的廣泛認可，也彰顯了公司在等離子體刻蝕領域已進入國際前列。

中微公司不斷拓展等離子體刻蝕設備產品線，以滿足先進的芯片器件制造日益嚴苛的技術需求，早在2004年，首創了“甚高頻去耦合反應離子刻蝕的技術（D-RIE, Decoupled Reactive Ion Etching）。中微公司也獨創了有專利保護的雙反應臺刻蝕反應器，既可以單臺獨立操作，也可以雙臺同時操作的、輸出量高、加工成本低的獨特機型。中微公司的刻蝕設備在過去的20年積累了大量的芯片生產線量產數據和客戶驗證數據，已經可以覆蓋絕大多數的刻蝕應用，包括各種高端的應用。特別是CCP和ICP的雙臺機，反復論證了雙反應臺之間刻蝕的線寬差別，１Sigma已達到０.５納米以下，刻蝕速度已可以精準到0.1到0.2納米水平，相當于頭發絲直徑約三十萬分之一。中微公司的刻蝕機已在5納米及更先進的微觀器件生產線上大量應用。

中微公司的等離子體刻蝕設備不斷擴大市場占有率，公司的CCP高能等離子刻蝕設備和ICP低能等離子體刻蝕設備的出貨量近年來都保持高速增長。CCP設備在線累計裝機量近四年年均增長大于37%，已突破4000個反應臺；ICP設備在線累計裝機量近四年年均增長大于100%，已突破1000個反應臺。截至2025年2月底，公司累計已有超過5400個反應臺在國內外130多條生產線，全面實現了量產和大規模重復性銷售，贏得了眾多客戶和供應廠商的信任和支持。

據業績快報顯示，中微公司2024年營業收入約90.65億元，較2023年增加約28.02億元。公司在過去13年保持營業收入年均增長大于35%，近四年營業收入年均增長大于40%的基礎上，2024年營業收入又同比增長約44.73%。其中，刻蝕設備收入約72.77億元，在最近四年收入年均增長超過50%的基礎上，2024年又同比增長約54.73%。

根據市場及客戶需求，公司顯著加大研發力度，2024年在研項目涵蓋六類設備，超二十款新設備的開發。公司開發的一系列設備已在性能上達到國際先進水平，部分產品在其細分領域全球領先。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發的六種LPCVD薄膜設備已經順利進入市場。其中，在進入市場后只一年，存儲器生產線所用的LPCVD設備出貨量已突破100多個反應臺，2024年得到約4.76億元批量訂單。公司研發新產品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發一款新設備，現在只需兩年或更短時間就能開發出有競爭力的新設備，并順利進入市場。中微公司綜合競爭優勢不斷增強，聚焦提高勞動生產率，在2022年達到人均銷售350萬元的基礎上，2024年人均銷售超過了400萬元，各項營運指標已達到國際先進半導體設備企業水平。

未來，中微公司將緊跟先進制程工藝發展的最前沿，繼續加大研發投入，在產品設計、開發和制造過程中，始終強調技術的創新、產品的差異化和知識產權的保護，不斷開發更多的高端設備產品，堅持三維立體發展戰略，通過有機成長和外延擴展，踐行科創企業的“五個十大“，即”產品開發十大原則“，”戰略銷售十大準則“，”營運管理十大章法“，”精神文化十大作風“，”領導能力十大要點“，實現高速、穩定、健康和安全的高質量發展，盡早在規模和競爭力上成為國際一流的半導體設備公司！

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類，包括十幾種細分刻蝕設備已可以覆蓋大多數刻蝕的應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國內和國際一線客戶，涵蓋從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年著重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設備，并取得了可喜的進步。中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備早已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。此外，中微公司也在布局光學和電子束量檢測設備，并開發多種泛半導體微觀加工設備。這些設備都是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導體設備客戶滿意度調查中，中微公司三次獲得總評分第三，薄膜設備三次被評為第一。

審核編輯 黃宇