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中國首條12英寸先進智能傳感器晶圓制造量產線項目通過竣工驗收

傳感器專家網 ? 來源:傳感器專家網 ? 作者:傳感器專家網 ? 2025-03-12 12:35 ? 次閱讀
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3月12日消息,近日,中建四局承建的廣州增芯12英寸先進智能傳感器晶圓制造量產線項目順利通過竣工驗收。 項目位于廣東省廣州市增城區,總建筑面積約20萬平方米,建設內容包括生產廠房、綜合動力站、硅烷站、甲類倉庫、危廢庫、大宗氣體站、生產調度樓等。作為全國首條12英寸智能傳感器晶圓制造產線項目,建成后將具備年產24萬片12英寸晶圓的生產能力,投用后生產的產品為力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片,將逐步形成產業聚集效應,為國內智能傳感器及相關產業提供高質量發展支撐,助力“廣東強芯”工程建設。

增芯項目由廣州智能傳感器產業集團發起,于2021年4月成立,定位為國內第一家專業定制化12英寸傳感器晶圓廠,針對智能化、微型化等物聯網應用領域中的核心器件(如力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等),打造集研發、量產制造、封測與應用一體的先進制造平臺,產品包括三大類工藝產品MEMS、BCD及邏輯工藝對廣州市及廣東省的集成電路產業發展具有重要意義。

據官網介紹,增芯科技按照“一次規劃、分步實施”原則,計劃用5年時間投資370億元,在廣州市增城區建設兩座智能化晶圓廠,總產能達到12萬片/月。

其中,增芯項目第一座晶圓廠(FAB1)分兩期,第一期產能2萬片/月,總投資70億元;第二期產能4萬片/月,總投資100億元;第二座晶圓廠(FAB2)為第三期,產能6萬片/月,總投資200億元。第一座晶圓廠預計2026年滿產,第二座晶圓廠預計2027年滿產。

相關產線介紹參看《中國首條12英寸MEMS量產線今天投產!5年370億兩座晶圓廠12萬片/月!》

審核編輯 黃宇

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