掃描電鏡的日常維護對于保證儀器的性能和使用壽命至關重要，以下是一些日常維護的注意事項：

1、電子光學系統維護

-電子槍維護：電子槍是產生電子束的部件，其燈絲會隨著使用逐漸損耗。應定期檢查燈絲的狀態，當燈絲發射電流不穩定或明顯變弱時，需及時更換燈絲。更換燈絲時要注意操作規范，避免引入雜質或損壞燈絲。同時，保持電子槍區域的清潔，防止灰塵等污染物進入影響電子發射。

-電磁透鏡維護：電磁透鏡用于聚焦電子束，要定期檢查其電流穩定性和磁場強度。確保透鏡的電源穩定，避免電壓波動對透鏡性能產生影響。此外，防止外部磁場干擾電磁透鏡的正常工作，不要在電鏡附近放置強磁性物質。

2、真空系統維護

-真空泵維護：真空泵是維持電鏡真空環境的關鍵設備。定期檢查真空泵的油位和油質，油位過低時要及時補充真空泵油，油質變差則需更換新油，以保證真空泵的抽氣效率。同時，按照真空泵的使用說明書，定期對真空泵進行保養和維護，如清潔泵腔、更換密封件等。

-真空管道和閥門維護：檢查真空管道是否有漏氣現象，可使用氦質譜檢漏儀等設備進行檢測。如發現漏氣，要及時找出漏點并進行修復。對于真空閥門，要定期檢查其密封性和動作靈活性，確保閥門能夠正常開啟和關閉，防止因閥門故障導致真空度下降。

3、探測器維護

-二次電子探測器維護：二次電子探測器是最常用的探測器之一，要保持其表面清潔，避免灰塵和樣品碎屑附著。定期檢查探測器的高壓電源和信號傳輸線路，確保其正常工作。如果探測器的靈敏度下降，可能是探測器表面污染或電子倍增管老化所致，需要進行清潔或更換電子倍增管。

-背散射電子探測器維護：背散射電子探測器的維護與二次電子探測器類似，要注意保持其清潔和正常的工作狀態。同時，根據實際使用情況，定期對探測器的參數進行校準，以保證背散射電子圖像的質量和準確性。

4、樣品室維護

-清潔樣品室：每次觀察完樣品后，應及時清理樣品室，去除樣品殘渣、灰塵和其他污染物。可以使用干凈的紗布或專用的清潔工具進行擦拭，但要注意避免刮傷樣品室的內壁和部件。對于頑固污漬，可使用適當的有機溶劑進行擦拭，但要確保有機溶劑揮發干凈后再關閉樣品室。

-檢查樣品臺：檢查樣品臺的移動和旋轉機構是否靈活，如有卡頓或不順暢的情況，要及時進行潤滑和維修。同時，檢查樣品臺的平整度和穩定性，確保樣品在觀察過程中不會發生晃動或位移，影響成像質量。

此外，還需定期對掃描電鏡的軟件和硬件進行更新和校準，以保證儀器的性能和功能始終處于最佳狀態。同時，建立詳細的維護記錄檔案，記錄每次維護的時間、內容、更換的部件等信息，以便于對儀器的維護情況進行跟蹤和管理。