一、中國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)迎來(lái)快速增長(zhǎng)期

近年來(lái)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)備受關(guān)注，今年的兩會(huì)又燒了一把火，目前熱度非常高，但是我們必須認(rèn)識(shí)到當(dāng)前階段本土廠商在國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中還是剛剛起步。當(dāng)前國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迎來(lái)最好時(shí)機(jī)，“政策、產(chǎn)業(yè)、金融、創(chuàng)新”四位一體、共同發(fā)力，這在之前是從來(lái)沒(méi)有出現(xiàn)過(guò)的。政策支持上，當(dāng)前制造強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略將發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)放在首位，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要、國(guó)家重大科技專項(xiàng)、大基金二期等層出不窮。國(guó)家重點(diǎn)扶持的主要原因還是在于市場(chǎng)土壤肥沃，2017年我國(guó)集成電路產(chǎn)品進(jìn)口金額達(dá)到2601億美元，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求旺盛。

國(guó)內(nèi)金成電路進(jìn)口額高達(dá)2601億美元

二、2018年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求規(guī)模預(yù)計(jì)超700億元

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資占比也在逐年擴(kuò)大。2000年我國(guó)集成電路產(chǎn)能占全球比重只有2%，到2016年比重已達(dá)到11%。2017年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備需求規(guī)模約70多億美元，保持全球占比前三位，我們預(yù)計(jì)到2018年可能超過(guò)110億美元，位列全球第二。我們認(rèn)為目前中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)還剛剛開(kāi)始，一旦進(jìn)入成整期，需求增速將會(huì)非常快。

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資占比逐年擴(kuò)大

三、國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備的發(fā)展歷程

目前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備發(fā)展目前處于起步階段。就發(fā)展歷程來(lái)看：

2000年：國(guó)內(nèi)開(kāi)始進(jìn)行刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、光刻機(jī)等IC設(shè)備研發(fā)；

2008年：涵蓋主要關(guān)鍵設(shè)備，材料開(kāi)始研發(fā)布局；

2010年：陸續(xù)進(jìn)入達(dá)生產(chǎn)線考核驗(yàn)證；

2014年：關(guān)鍵設(shè)備材料進(jìn)入批量應(yīng)用；

2017年：14nm國(guó)產(chǎn)裝備入線驗(yàn)證。

到2017年，我國(guó)的技術(shù)研發(fā)、市場(chǎng)開(kāi)拓、資本運(yùn)作取得卓著成果。技術(shù)創(chuàng)新形成體系，到2017年年底已實(shí)現(xiàn)專利3688余件。市場(chǎng)開(kāi)拓層面，2017年國(guó)產(chǎn)裝備累計(jì)穩(wěn)定流片超過(guò)8800萬(wàn)片，裝備銷售400余臺(tái)，零部件配套逐步完善。資本市場(chǎng)運(yùn)作方面，包括北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體、長(zhǎng)川科技、晶盛機(jī)電等多家企業(yè)陸續(xù)打通上市融資渠道。

以北方華創(chuàng)為例，2003年和2008年分別參與國(guó)家863專項(xiàng)、02專項(xiàng)等國(guó)家重大項(xiàng)目研發(fā)工作。2000年北方華創(chuàng)剛開(kāi)始半導(dǎo)體設(shè)備研制，2010年樣機(jī)進(jìn)入生產(chǎn)線，2014年起批量生產(chǎn)，2017年14nm級(jí)別進(jìn)入批量測(cè)試。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備與國(guó)際設(shè)備的差距正不斷縮小

四、目前國(guó)產(chǎn)裝備及零部件領(lǐng)域已完成系統(tǒng)布局

下表是對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備各產(chǎn)品布局的匯總，可以看到北方華創(chuàng)、盛美、上海中微、沈陽(yáng)拓荊等企業(yè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)已達(dá)到14nm節(jié)點(diǎn)。

在零部件供應(yīng)方面，國(guó)內(nèi)企業(yè)依靠自主研發(fā)，也形成一定規(guī)模的供應(yīng)商體系。

從下圖可以看到，主要的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商均實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)和測(cè)試。在工藝開(kāi)發(fā)方面，以28nm印刷工藝，總共有300多種，目前國(guó)內(nèi)設(shè)備達(dá)到17-18%的覆蓋率，現(xiàn)在的數(shù)量還比較少，但隨著產(chǎn)業(yè)鏈上下游的緊密合作，相信未來(lái)會(huì)越來(lái)越高。

主要關(guān)鍵裝備種類已形成系列化布局

從國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備銷售收入來(lái)看，2016年銷售額達(dá)到57億元，雖然規(guī)模不算高，但2013-2016年CAGR超過(guò)17%。半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入中集成電路產(chǎn)品占比逐漸提高，由2013年的34%提高到2016年的29%。2016年國(guó)產(chǎn)設(shè)備占大陸本地市場(chǎng)份額7.6%，預(yù)計(jì)2020年達(dá)到20%以上。

雖然中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備在集成電路領(lǐng)域還沒(méi)有看到規(guī)模，但在光伏、LED領(lǐng)域已達(dá)到國(guó)際主流水平，具備成套組線能力，批量銷售海內(nèi)外。事實(shí)上光伏、LED領(lǐng)域幾年前還是國(guó)外技術(shù)壟斷，短短幾年國(guó)產(chǎn)廠商就實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局的改變。

半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模快速增長(zhǎng)

五、北方華創(chuàng)發(fā)展近況

北方華創(chuàng)是由北方微電子和七星電子合并形成的，產(chǎn)品包括7大系列產(chǎn)品，覆蓋8大應(yīng)用領(lǐng)域，主要包括集成電路、功率半導(dǎo)體、新能源光伏、平板顯示等。2013-2017年，公司每年出貨量都增加300-400臺(tái)，預(yù)計(jì)2017年出貨量達(dá)到1300臺(tái)。

北方華創(chuàng)近五年客戶年出貨量（腔）

盛美：先進(jìn)IC制造中的清洗挑戰(zhàn)

王暉，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）CEO

一、盛美登陸納斯達(dá)克標(biāo)志中國(guó)制造業(yè)進(jìn)入世界起點(diǎn)

盛美半導(dǎo)體2017年11月在納斯達(dá)克上市，也標(biāo)志著中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入世界的起點(diǎn)，納斯達(dá)克在此前的15年還沒(méi)有主流設(shè)備廠商上市先例。

二、清洗在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中至關(guān)重要

半導(dǎo)體加工過(guò)程中會(huì)引入很多雜志顆粒，進(jìn)而影響產(chǎn)品成品率，因此清洗環(huán)節(jié)尤其重要。在半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)中，超過(guò)三分之一工序是清洗，20nm節(jié)點(diǎn)DRAM有200余步清洗工序，并且伴隨節(jié)點(diǎn)尺度減小，需要的清洗供需將快速提升。

半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)中超過(guò)三分之一工序是清洗

節(jié)點(diǎn)尺度越小，清洗步驟越多

我們基于對(duì)月產(chǎn)10萬(wàn)片DRAM Fab產(chǎn)線的測(cè)算，成品率每降低1%將導(dǎo)致每年3000-5000萬(wàn)美元利潤(rùn)損失，并且需要Fab產(chǎn)能更高，造成更高的資本支出。

成品率降低帶來(lái)利潤(rùn)損失

三、清洗設(shè)備將成為巨大的市場(chǎng)

2016年全球清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模27億美元，2017年達(dá)到32.3億美元，我認(rèn)為在新的Fab不斷建設(shè)、舊Fab改造和清洗工序增加的驅(qū)動(dòng)下，未來(lái)5年清洗設(shè)備市場(chǎng)很可能翻倍，達(dá)到60-70億美元。

清洗設(shè)備市場(chǎng)將高速增長(zhǎng)

四、盛美在清洗設(shè)備和工藝上站在世界前沿

與傳統(tǒng)超聲波清洗工藝相比，盛美首創(chuàng)SAPS技術(shù)，可以使清洗過(guò)程中氣泡不會(huì)爆炸，有效提升清洗效率，在此技術(shù)上也成為世界前沿。

盛美在清洗設(shè)備和工藝上站在世界前沿

五、半導(dǎo)體設(shè)備伴隨生產(chǎn)廠商遷移

1970s-80s：美國(guó)硅谷，代表公司有因特爾、應(yīng)用材料、LAM

1980s后期-2000s：以日本為中心，代表公司有東京電子、TEL等

2000s中期-現(xiàn)在：以韓國(guó)、***為中心，出現(xiàn)ASML等

現(xiàn)在-2025：中國(guó)一定會(huì)成為全球半導(dǎo)體設(shè)備中心，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商理應(yīng)抓住機(jī)遇，做大做強(qiáng)。

上海華虹：從客戶角度探討國(guó)產(chǎn)裝備企業(yè)機(jī)遇

徐偉，華虹宏力半導(dǎo)體制造EVP

一、打造全球化發(fā)展的共贏生態(tài)圈

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)且粋€(gè)高度國(guó)際化的合作過(guò)程，任何國(guó)家都不可能實(shí)現(xiàn)100%的純本土化制造，加強(qiáng)業(yè)界協(xié)作有利于提高效率和獲益能力；半導(dǎo)體供應(yīng)鏈?zhǔn)且粋€(gè)全球性的供應(yīng)鏈，晶圓制造企業(yè)必須從國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀供應(yīng)商采購(gòu)高質(zhì)量的裝備極材料，用以保證產(chǎn)品性能；我們應(yīng)當(dāng)以全球化的觀念去吸引更多全區(qū)的行業(yè)領(lǐng)先者植根于中國(guó)半導(dǎo)體業(yè)，加強(qiáng)技術(shù)滬東和合作，同時(shí)加速推動(dòng)進(jìn)口替代進(jìn)程，打造全球化發(fā)展共贏的生態(tài)圈。

打造全球化發(fā)展的共贏生態(tài)圈

二、中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展

2017年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)實(shí)現(xiàn)超過(guò)20%的增長(zhǎng)，中國(guó)大陸集成電路產(chǎn)業(yè)在政策、資本和市場(chǎng)三方合力下，規(guī)模與增速全球領(lǐng)先。SEMI預(yù)測(cè)，2018年中國(guó)大陸裝備銷售增長(zhǎng)率將達(dá)到49.2%，增速全球第一，銷售規(guī)模達(dá)到113億美元，成為全球第二大半導(dǎo)體裝備市場(chǎng)；而根據(jù)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》和國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)的實(shí)施目標(biāo)，到2020年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)占有率將達(dá)到30%，2025年達(dá)到50%。

2018年中國(guó)大陸裝備銷售增長(zhǎng)率將達(dá)到49.2%

三、上海華虹也將支持國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈均衡發(fā)展

上海華虹服務(wù)國(guó)內(nèi)接近一半的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)企業(yè)（約600家）；華虹的IC制造業(yè)務(wù)中，國(guó)內(nèi)客戶銷售收入占比約60%；作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造廠商，上海華虹非常希望希望與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備和材料廠商合作，將全面支持國(guó)產(chǎn)集成電路裝備和材料企業(yè)的創(chuàng)新，成為國(guó)產(chǎn)裝備和材料應(yīng)用最多的集成電路制造平臺(tái)。

華虹將支持國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈均衡發(fā)展

圓桌討論

1、在投資的時(shí)候最關(guān)注的因素是什么？對(duì)公司有怎樣的要求？

劉新玉（盛世投資管理合伙人）：半導(dǎo)體行業(yè)，特別是設(shè)備制造領(lǐng)域，初始投資很大、投資周期很長(zhǎng)，因此我們?cè)谕顿Y時(shí)不需要快速獲得回報(bào)，更關(guān)注的是公司的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力，特別是內(nèi)生增長(zhǎng)。我們對(duì)于外延并購(gòu)的態(tài)度是并購(gòu)是否能真正形成有效協(xié)同提升價(jià)值，若只是希望獲得短期的財(cái)報(bào)粉飾效果我們后續(xù)也不會(huì)跟進(jìn)。另一個(gè)重要因素是企業(yè)的價(jià)值觀，我們希望企業(yè)有踏實(shí)做事的作風(fēng)，埋頭把事情做好。

2、對(duì)于上海華虹這樣一個(gè)半導(dǎo)體制造企業(yè)來(lái)說(shuō)，如何培育半導(dǎo)體供應(yīng)鏈？

徐偉：作為一個(gè)制造企業(yè)，在產(chǎn)業(yè)鏈中處于中游，上游有設(shè)備、材料和設(shè)備公司，下游有封測(cè)和終端應(yīng)用。我認(rèn)為半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)的本土化對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)欠浅Ｖ匾模乙恢庇谩氨就粱倍皇恰皣?guó)產(chǎn)化”，因?yàn)閷?duì)于半導(dǎo)體設(shè)備或材料公司來(lái)說(shuō)，面向的是全球市場(chǎng)，而不僅僅是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。本土化可以有效降低運(yùn)輸和服務(wù)成本，對(duì)產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展也是極其重要的，尤其在近幾年產(chǎn)業(yè)發(fā)展增速較快的階段，本土化可大大提高本土企業(yè)的快速反應(yīng)能力和對(duì)先進(jìn)技術(shù)的應(yīng)用。

我認(rèn)為未來(lái)可能半導(dǎo)體產(chǎn)線建設(shè)的熱潮依然可以延續(xù)，2017年以來(lái)新建立60多座Fab，其中20多座位于大陸，如果其中的材料和設(shè)備都要從海外進(jìn)口，那么我們的成本管控力和反應(yīng)能力將很難提高，對(duì)于未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展不利。因此我們應(yīng)該培育本土化設(shè)備和材料廠商發(fā)展，事實(shí)上材料和設(shè)備投資額與制造生產(chǎn)線相比從時(shí)效性上相比確實(shí)吸引力不高，但是確實(shí)是非常重要的。我呼吁整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈共同進(jìn)步，補(bǔ)上短板，讓整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展更加均衡、更具持續(xù)性。

3、作為本土成長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，今后對(duì)于本土企業(yè)繼續(xù)做大做強(qiáng)有何想法？

王暉：半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)形成一批國(guó)外巨頭，在投資、客戶、經(jīng)驗(yàn)上占據(jù)絕對(duì)優(yōu)勢(shì)，因此國(guó)內(nèi)企業(yè)現(xiàn)在要成長(zhǎng)面臨巨大困難。國(guó)外企業(yè)的成長(zhǎng)路徑依然有一些經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，例如韓國(guó)的三星和海力士。

1、國(guó)內(nèi)企業(yè)雖然在技術(shù)上可能不如國(guó)外，但是可以利用服務(wù)上的優(yōu)勢(shì)；

2、在銷售服務(wù)，特別是客戶溝通和產(chǎn)品質(zhì)量上也要向國(guó)外學(xué)習(xí)，讓客戶感覺(jué)我們的水平在接近國(guó)外巨頭廠商；

3、在價(jià)格方面，國(guó)內(nèi)設(shè)備的零部件成本比國(guó)外的更貴，剛開(kāi)始就國(guó)外產(chǎn)品低30%就很難良性發(fā)展，因此不能自己惡性降價(jià)，但是前提是要把質(zhì)量做好。

下一階段把重點(diǎn)放在國(guó)產(chǎn)設(shè)備和材料上，跟Fab投資相比規(guī)模很小，雖然短時(shí)間無(wú)法兌現(xiàn)收益，但是長(zhǎng)遠(yuǎn)的回報(bào)很高。我相信有資金支持、有好的戰(zhàn)略、有優(yōu)秀的團(tuán)隊(duì)，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備在未來(lái)5-10年一定可以做成。