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沒有它,你的手機可能造不出來!高精度減速機在半導體設備的應用

蘇州璟豐機電 ? 2025-04-02 13:25 ? 次閱讀

你知道嗎?我們每天使用的手機電腦智能手表,甚至新能源汽車,都離不開一個核心——芯片。而芯片的制造,又依賴一臺精密到極致的機器:光刻機

但你知道嗎?光刻機的"心臟"里,藏著一個低調卻至關重要的部件——減速機。

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半導體制造過程中,光刻機需要在納米級精度下移動晶圓(硅片),誤差不能超過幾納米。而減速機的作用,就是精準控制機械臂的運動速度和位置,確保每一次曝光、每一次刻蝕都分毫不差。

速度控制:將電機的高速旋轉轉換為工作端需要的低速高扭矩運動

定位精準:確保機械臂每一次移動都精確到位

運動穩定:消除傳動過程中的振動和回程間隙

如果沒有高精度減速機,光刻機的機械臂可能會抖動、偏移,導致芯片良率暴跌,甚至直接報廢。可以說,減速機的精度,直接決定了芯片的成敗。

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在芯片工廠里,EUV光刻機要對準、晶圓機器人要搬運、檢測設備要掃描...這些動作都離不開減速機的精準控制。目前全球能生產高端減速機的企業屈指可數,這些精密部件需要滿足近乎苛刻的要求。

材料要求極高:需要超強耐磨、抗疲勞的合金材料,否則高速運轉下容易磨損。

加工精度變態:齒輪嚙合誤差必須控制在微米級,否則會影響整體運動精度。

長期穩定性:半導體設備24小時運轉,減速機必須經得起數萬小時高強度工作而不退化。

正是這些嚴苛的標準,使得高精度減速機成為衡量一個國家高端制造水平的重要標志之一。

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蘇州璟豐機電——自動化領域高速高精度系統集成商,為客戶提供自動化產品,系統集成,控制系統的設計研發,提供成套解決方案。美國派克parker,日本哈默納科Harmonic,陶氏等品牌授權代理經銷商。提供美國派克伺服電機、防爆電機、直線電機、驅動器、減速機,日本哈默納科減速機、執行元件,陶氏減速機,臺灣apex減速機系列產品的銷售及技術支持。

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