行業背景
隨著新能源汽車、5G、AI等新型應用領域爆發,MOS管在電機驅動等場景需求也隨之激增,國產替代加速,對MOS管的工藝和性能提出了更高的要求。作為重要的分立元器件之一,如此微小而精密的電子元器件是如何生產的呢?其中又涉及到哪些高科技工藝?今天合科泰帶您進入MOS管的微觀世界。
MOS管的構成與原理
MOS管全稱是MOSFET,核心結構包括半導體基地、絕緣層、柵極、源極與漏極、寄生二極管。通過電場調控和半導體特性協同,可以實現高效的電能控制與信號放大功能。半導體基地(襯底)作為載體,柵極施加電壓后,絕緣層下方電場可在襯底表面形成導電溝道;源極注入載流子,漏極收集載流子導通電流,通過寄生二極管固定封裝極性,簡化電路設計。
MOS管制造工藝流程
MOS管的制作流程復雜且精密,主要涉及到8個大的流程,襯底準備、氧化層形成、光刻與柵極制作、源漏區摻雜、退火處理、金屬化與互連。根據不同結構的制作內容進行分類說明如下:
1、材料選擇:選擇高純度的單晶硅,使用機械拋光和化學清洗的方式去除表面雜質。
2、預處理:去除雜質的硅片需經過退火以及氧化處理,可形成初始氧化層增強表面的穩定性,比如二氧化硅。
3、熱氧化:把硅片放置到高溫爐,其中通入氧氣和水蒸氣,可以生成通常厚度為20-300nm的二氧化硅絕緣層。
4、化學氣相沉積CVD:通過氣體反應物在硅的表面沉積二氧化硅,可以用在形成柵氧化層或者場氧化層。
5、多晶硅沉積:用CVD或者PVD的方法在在絕緣層上沉積厚度約200-300nm的多晶硅層。
6、光刻與刻蝕:涂覆光刻膠并曝光掩膜圖案,顯影后保留柵極區域的多晶硅;干法刻蝕去除多余多晶硅,形成柵極結構。
7、離子注入:通過光刻定義源漏區窗口,注入磷(N型)或硼(P型)離子,形成低摻雜濃度區域(LDD區)高溫退火(約1000℃)激活摻雜劑并修復晶格損傷
8、高摻雜:在源漏區邊緣進行二次離子注入,形成高摻雜濃度區域(如N+或P+),降低接觸電阻
合科泰MOS管推薦
基于上述精密工藝,合科泰建立了一套標準化、流程化的品質管理體系,全方位保證產品的質量,覆蓋多場景應用需求的MOS管產品。以下是合科泰精選在導通電阻、開關速度、耐壓能力等關鍵指標具有顯著優勢的MOS管,詳細參數如下:
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公司介紹
合科泰成立于1992年,是一家集研發、設計、生產、銷售一體化的專業元器件高新技術及專精特新企業。
產品包括:
1、半導體封裝材料;2、被動元件,主要有:電阻、電容、電感;3、半導體分立器件,主要有:MOSFET、TVS、肖特基、穩壓管、快恢復、橋堆、二極管、三極管及功率器件,電源管理IC及其他集成電路等。
1、中國華南地區的制造中心,位于惠州市博羅縣的合科泰科技智能制造園區,建筑面積75000㎡,擁有先進設備及檢測儀器1000多臺,在當地配套集團物流配送中心,而東莞塘廈生產中心為目前生產基地;
2、中國西南地區的制造中心,位于四川省南充市順慶區科創中心,廠房面積35000㎡,擁有先進設備和檢測儀器儀表約2000臺;
2024年合科泰全面拓寬產品線,在四川南充成立三家子公司,分別是順芯半導體、南充安昊、南充晶科,主要負責研發生產半導體封裝材料;產品線拓寬后將最大程度滿足客戶需求。
合科泰堅持客戶至上、品質第一、創新驅動、以人為本的經營方針,為客戶提供一站式應用解決方案服務。同時合科泰提供半導體芯片和分立器件封裝測試OEM代工等綜合性業務。合科泰在集成電路設計、芯片測試、分立器件工藝設計、可靠性實驗等方面積累了豐富核心技術儲備,擁有國家發明專利、實用新型專利等100多項。
合科泰通過了ISO9001、ISO14001、IATF16949體系認證。
產品廣泛應用于電源、照明、醫療電子、小家電、通信、安防儀器、工控、汽車電子等領域。
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原文標題:硅基MOS管制造的八大核心工藝步驟解析
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