在高端科研儀器國產(chǎn)化進(jìn)程中,致真精密儀器持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新與場景化解決方案賦能科研與產(chǎn)業(yè)升級。近期,致真自主研發(fā)的原子力顯微鏡(AFM)產(chǎn)品成功交付探生科技、東北大學(xué)、廈門大學(xué)等多家標(biāo)桿客戶,針對不同領(lǐng)域的科研與產(chǎn)業(yè)需求,提供了兼具性能優(yōu)勢與定制化功能的高端檢測設(shè)備,標(biāo)志著國產(chǎn) AFM 在多領(lǐng)域應(yīng)用場景中的全面落地。
一、探生科技:多功能模塊支撐探針驗證
探生科技采購的致真 AtomExplorer 型原子力顯微鏡,憑借集成的多功能模塊,為客戶自研探針的各類驗證提供了有力支持,成為其研發(fā)平臺的核心裝備。這款科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率,能夠精準(zhǔn)觀察材料表面形貌與紋理,無論是納米級別的細(xì)微結(jié)構(gòu),還是微米級別的宏觀特征,都能清晰捕捉,為材料與芯片表面形貌分析提供詳盡的視覺信息。
在功能拓展方面,Atom Explorer 還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡等多種功能模塊。其穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好,能夠根據(jù)客戶需求提供定制化服務(wù)。
二、東北大學(xué):自動化儀器賦能高效科研
針對材料科學(xué)與智能制造領(lǐng)域的高頻檢測需求,東北大學(xué)采購的致真AtomEdge 型原子力顯微鏡,以 "智能化 + 易用性" 重新定義科研設(shè)備操作范式。設(shè)備自動化程度高,操作流程簡單無需過多設(shè)置;機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,換針操作簡單,顯著降低科研人員的技術(shù)門檻,尤其適合多課題組共享使用場景。
三、廈門大學(xué):多功能集成打破學(xué)科壁壘
廈門大學(xué)采購的致真AtomExplorer 型原子力顯微鏡,一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)多種功能,包含形貌表征(輕敲模式、接觸模式)、磁學(xué)測量(MFM 磁力顯微鏡)、電學(xué)分析(EFM 靜電力顯微鏡、KPFM 開爾文探針力顯微鏡、PFM 壓電響應(yīng)力顯微鏡、STM 掃描隧道顯微鏡)等前沿功能,覆蓋材料科學(xué)、凝聚態(tài)物理、電子信息等多個學(xué)科的檢測需求,吸引了多個課題組前來培訓(xùn)學(xué)習(xí)。
四、國產(chǎn)高端儀器的破局之道:
從技術(shù)領(lǐng)先到場景深耕
1.科研級原子力顯微鏡 AtomExplorer
產(chǎn)品簡介:
AtomExplorer科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率,用于觀察材料表面形貌、紋理,能夠在納米級別到微米級別的尺度上捕捉材料表面的微小特征和細(xì)微結(jié)構(gòu),為材料與芯片的表面形貌提供詳盡的視覺信息。該產(chǎn)品還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡;穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好,提供定制服務(wù)。該產(chǎn)品作為高精度形貌表征和納米磁學(xué)、電學(xué)測量工具,為高端科研與企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)提供更多選擇和助力。
產(chǎn)品特點(diǎn):
體積小巧,適用于各種實(shí)驗室環(huán)境
標(biāo)配靜電力(EFM)、壓電力(PFM)、磁力(MFM)、開爾文(KPFM)
軟件開放 可以用Labview調(diào)用
設(shè)備性能:
掃描范圍 | 最大100 μm×100 μm×10 μm |
掃描方式 | XYZ三軸全樣品掃描 |
X/Y噪聲水平 | 0.4 nm |
Z向噪聲水平 | 0.05 nm(開環(huán)) |
非線性度 | XY 0.02%,Z 0.08% |
圖像采集點(diǎn) | 32×32~4096×4096 |
樣品臺尺寸 | Φ20 mm |
工作模式 | 輕敲模式、接觸模式、抬起模式、相位成像模式 |
多功能測量 | 靜電力顯微鏡 (EFM)、掃描開爾文顯微鏡 (KPFM)、壓電力顯微鏡 (PFM)、磁力顯微鏡 (MFM) |
2.小樣品原子力顯微鏡AtomEdge
產(chǎn)品簡介:
AtomEdge小樣品原子力顯微鏡可對材料、電子器件、生物樣本等進(jìn)行三維掃描成像。本產(chǎn)品最大可兼容4英寸樣品,具備接觸、輕敲、非接觸等多種工作模式,為用戶提供了更為靈活和精準(zhǔn)的操作選擇。此外,它還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、掃描開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡、刻蝕和納米操作等多種功能模式,穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好。根據(jù)實(shí)際需求,還可拓展近場光學(xué)、拉曼/熒光光譜聯(lián)用、外加磁場、聲學(xué)原子力等功能,是一款真正意義上的小樣品原子力顯微鏡。
設(shè)備性能:
樣品尺寸 | 最大直徑100 mm,厚度10 mm,兼容直徑100 mm培養(yǎng)皿 |
掃描方式 | XYZ三軸全樣品掃描 |
掃描范圍 | 90 μm×90 μm×9 μm |
掃描速率 | 0.1 Hz~20 Hz |
XY方向噪聲水平 | 0.2 nm閉環(huán),0.02 nm開環(huán) |
Z方向噪聲水平 | 0.04 nm閉環(huán),0.03 nm開環(huán) |
非線性度 | XY方向0.15%,Z方向:1% |
圖像采樣點(diǎn) | 32×32 ~ 4000×4000 |
工作模式 | 接觸、輕敲、非接觸 |
適配環(huán)境 | 空氣、液相 |
多功能測量 | 靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開爾文顯微鏡(KPFM)、壓電力顯微鏡(PFM)、導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)、掃描電容力顯微鏡(SCFM)、磁力顯微鏡(MFM)、橫向力顯微鏡(LFM)、納米刻蝕/加工、單點(diǎn)力譜曲線、力調(diào)制模式 |
應(yīng)用案例:
3.大樣品原子力顯微鏡AtomMax
產(chǎn)品簡介:
利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征,可實(shí)現(xiàn)大晶圓級大樣品形貌表征。電動樣品定位臺與光學(xué)圖像相結(jié)合,可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1μm的定位精度,激光對準(zhǔn),探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整完全自動化操作。
設(shè)備性能:
樣品尺寸 | 8寸晶圓并向下兼容 |
掃描范圍 | 最大100 μm×100 μm×10 μm |
掃描角度 | 0-360° |
分辨率 |
Z軸閉環(huán)分辨率0.15 nm; X/Y閉環(huán)分辨率0.5 nm |
掃描探針XY方向圖像分辨率 | 不小于32X32~4000X4000 |
工作模式 | 接觸模式、輕敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向掃描模式 |
多功能測量 | 靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開爾文顯微鏡(KPFM)、壓電力顯微鏡(PFM)、磁力顯微鏡(MFM) |
應(yīng)用案例:
此次多領(lǐng)域交付,不僅展現(xiàn)了致真 AFM 在噪聲控制(開環(huán)縱向噪聲低至 0.03nm)、分辨率(三維納米級)、環(huán)境兼容性(空氣、液相)等核心性能上的國際對標(biāo)實(shí)力,更體現(xiàn)了其 "以客戶需求定義產(chǎn)品" 的研發(fā)理念 —— 針對產(chǎn)業(yè)客戶強(qiáng)調(diào)模塊化與效率,針對高校客戶側(cè)重多功能與易用性,真正實(shí)現(xiàn) "一客一策" 的精準(zhǔn)賦能。
隨著半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對納米表征技術(shù)的需求爆發(fā),致真正以 "國產(chǎn)儀器 + 場景化解決方案" 雙輪驅(qū)動,致力于加速實(shí)現(xiàn)高端科研裝備的自主可控,為中國科技創(chuàng)新注入 "硬核" 力量。
關(guān)于我們
致真精密儀器是以高端科研儀器、教學(xué)儀器、集成電路產(chǎn)線測試設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)為主要業(yè)務(wù)的國家高新技術(shù)企業(yè)、山東省瞪羚企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)。
一直以來致力于實(shí)現(xiàn)高端科技儀器和集成電路測試設(shè)備的自主可控和國產(chǎn)替代。致真精密儀器通過工程化和產(chǎn)業(yè)化攻關(guān),已經(jīng)研發(fā)了一系列磁學(xué)與自旋電子學(xué)領(lǐng)域的前沿科研設(shè)備,包括“原子力顯微鏡、高精度VSM、MOKE等磁學(xué)測量設(shè)備、各類磁場探針臺、磁性芯片測試機(jī)等產(chǎn)線級設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、集成電路裝備實(shí)訓(xùn)解決方案”等,如有需要,我們的產(chǎn)品專家可以提供免費(fèi)的項目申報輔助、產(chǎn)品調(diào)研與報價、采購論證工作。
另外,我們可以為各位老師提供免費(fèi)測試服務(wù),有“磁疇測試”、“SOT磁疇翻轉(zhuǎn)”、“斯格明子觀測”、“轉(zhuǎn)角/變場二次諧波”、“ST-FMR測量”、“磁控濺射鍍膜”等相關(guān)需求的老師,可以隨時與我們聯(lián)系。
我們希望與更多優(yōu)秀科研工作者和產(chǎn)業(yè)工作者合作,持續(xù)提供更加專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和完善的行業(yè)解決方案!歡迎聯(lián)系我們!
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原文標(biāo)題:致真精密儀器原子力顯微鏡多領(lǐng)域交付:以國產(chǎn)技術(shù)創(chuàng)新賦能科研與產(chǎn)業(yè)升級
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