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超聲波T-SAM與C-SAM模式的區別

中科院半導體所 ? 來源:Tom聊芯片智造 ? 2025-05-21 15:26 ? 次閱讀

文章來源:Tom聊芯片智造

原文作者:Tom

本文介紹了超聲波的T-SAM與C-SAM兩種模式的區別。

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什么是SAM?

SAM,Scanning acoustic microscope,超聲波掃描顯微鏡。SAM是一種非破壞性檢測技術,在無需對樣品開蓋的前提下,就能“透視”封裝內部結構。避免了傳統破壞性方法可能引入的新損傷。

SAM的優勢?

SAM對材料界面之間的聲阻抗差異非常敏感,尤其擅長檢測:封裝內部的分層,氣隙、空洞、微裂紋,材料剝離或脫層;能識別厚度只有亞微米級的微小分層,這種靈敏度遠超X射線。

T-SAM與C-SAM的區別?

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如上圖,左圖是T-Scan,右圖為C-Scan。

類型 C-SAM(反射模式) T-SAM(透射模式)
成像原理 超聲波入射 → 被界面反射 → 被同一個換能器接收回波 超聲波穿過樣品 → 被下方換能器接收
換能器配置 單個換能器 同時發射和接收 兩個換能器 上下布置,分別負責發射和接收
探測方式 探測界面回波(如分層/氣泡) 探測能否穿透、穿透強度(識別材料密度變化)

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原文標題:T-SAM與C-SAM如何“看穿”封裝缺陷的?

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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