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星納微3D形貌輪廓測(cè)量機(jī)

星納微3D形貌測(cè)量設(shè)備 ? 2025-06-03 21:26 ? 次閱讀

THIS IS KINAVI

星納微(天津)精密科技有限公司成立于天津,公司致力于精密儀器設(shè)備制造,注重科技創(chuàng)新。作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的的3D量測(cè)設(shè)備及高精度的氣浮平臺(tái)供應(yīng)商,我們?yōu)楦餍袠I(yè)的用戶提供完善的系統(tǒng)解決方案。公司的產(chǎn)品包括:控制軟件、驅(qū)動(dòng)器、運(yùn)動(dòng)平臺(tái),納米級(jí)定位平臺(tái),精密氣浮平臺(tái),3D自動(dòng)量測(cè)機(jī),3D輪廓儀,激光掃描振鏡等一系列精密儀器設(shè)備及解決方案。公司的產(chǎn)品及方案廣泛地應(yīng)用于各個(gè)行業(yè):醫(yī)療器械、生命科學(xué)、半導(dǎo)體集成電路、激光加工、光電、自動(dòng)化、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、航天航空、電子制造和測(cè)試、高校科研等有高精度高穩(wěn)定性要求的眾多行業(yè)。

產(chǎn)品概述:
對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行三維形貌測(cè)量,集合了相位差干涉,白光干涉,共聚焦,多焦面疊加的四合一的技術(shù),可以做面型測(cè)量,共面度檢測(cè),研磨后的粗糙度檢測(cè),顆粒度檢測(cè),結(jié)構(gòu)測(cè)量,孔深孔徑,真圓度,膜厚測(cè)量,RDL線路量測(cè),鐳切槽檢測(cè),線寬,線距,去干膜前銅厚,SOLDER MASK開(kāi)口尺寸,銅面粗糙度等眾多三維量測(cè)項(xiàng)目。
3D自動(dòng)量測(cè)機(jī)主要是對(duì)晶圓、PCB板等產(chǎn)品進(jìn)行的三維形貌測(cè)量。設(shè)備可高精度、快速、自動(dòng)化進(jìn)行PCB產(chǎn)品表面3D形貌測(cè)量。

性能指標(biāo):


1).高精度(0.1nm高度分辨率)
2).超快速(2S/FOV)
3).多功能(共聚焦/干涉/多焦面)
4).多點(diǎn)編程量測(cè)
5).自動(dòng)化(自動(dòng)掃描、自動(dòng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、自動(dòng)數(shù)據(jù)上傳)
6).條碼讀取調(diào)用模板
7).CCD影像定位(漲縮、擺放偏移校正)
8).SECS/GEM

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