文章來源：老虎說芯

原文作者：老虎說芯

本文介紹了硅基集成電路工藝中晶體結(jié)構(gòu)的晶面和晶向的定義、性質(zhì)、關(guān)系和應(yīng)用。

晶面和晶向是晶體學(xué)中兩個(gè)核心的概念，它們與硅基集成電路工藝中的晶體結(jié)構(gòu)有密切的關(guān)系。

1. 晶向的定義與性質(zhì)

晶向代表晶體中一個(gè)特定方向，通常用晶向指數(shù)來表示。晶向通過連接晶體結(jié)構(gòu)中任意兩個(gè)晶格點(diǎn)來定義，并且有以下幾個(gè)特性：每個(gè)晶向上都包含無窮多個(gè)格點(diǎn)；同一個(gè)晶向可以有多個(gè)平行的晶向組成一個(gè)晶向簇；晶向簇覆蓋晶體中的所有格點(diǎn)。

晶向的重要性在于它標(biāo)定了晶體內(nèi)原子排列的方向性。比如，[111]晶向代表的是一個(gè)特定方向，其中三個(gè)坐標(biāo)軸的投影比例為11。

2. 晶面的定義與性質(zhì)

晶面則是晶體中的一個(gè)原子排列的平面，用晶面指數(shù)（Miller指數(shù)）表示。例如，(111) 表示晶面在坐標(biāo)軸上的截距倒數(shù)為11。晶面具有以下性質(zhì)：每個(gè)晶面上有無窮多個(gè)格點(diǎn)；每個(gè)晶面都有無窮多個(gè)平行的晶面，形成晶面簇；晶面簇覆蓋了整個(gè)晶體。

晶面指數(shù)的確定方式是通過取該晶面在各坐標(biāo)軸上的截距，并取其倒數(shù)化為最小整數(shù)比。例如，(111) 表示的晶面在x、y、z三軸上的截距比例為11。

3. 晶面與晶向的相互關(guān)系

晶面和晶向是描述晶體幾何結(jié)構(gòu)的兩種不同方式。晶向是指某一方向上的原子排列，而晶面是指某一特定平面上的原子排列。這兩者有一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，但它們表示的物理概念不同。

關(guān)鍵關(guān)系：某個(gè)晶面的法向量（即垂直于該晶面的向量）正好對(duì)應(yīng)一個(gè)晶向。例如，(111) 晶面的法向量正好是 [111] 晶向，這意味著在 [111] 方向上的原子排列與該晶面垂直。

在半導(dǎo)體工藝中，晶面的選擇對(duì)器件性能有很大影響。例如，硅基半導(dǎo)體中常用的晶面是(100)和(111)晶面，因?yàn)樗鼈冊(cè)诓煌较蛏嫌胁煌脑优帕泻玩I合方式。不同晶面上的電子遷移率、表面能量等性質(zhì)不同，影響到半導(dǎo)體器件的性能和生長(zhǎng)工藝。

4. 半導(dǎo)體工藝中的實(shí)際應(yīng)用

在硅基半導(dǎo)體制造中，晶向和晶面在許多方面都有應(yīng)用：

晶體生長(zhǎng)：半導(dǎo)體晶體的生長(zhǎng)通常沿著特定的晶向進(jìn)行。硅晶體最常沿著[100]或[111]晶向生長(zhǎng)，因?yàn)檫@些晶向?qū)?yīng)的晶體穩(wěn)定性和原子排列有利于生長(zhǎng)。

蝕刻工藝：在濕法蝕刻中，不同的晶面具有不同的蝕刻速率。例如，在硅的(100)晶面和(111)晶面上，蝕刻速率不同，導(dǎo)致各向異性蝕刻效果。

器件特性：MOSFET器件的電子遷移率受到晶面影響，通常(100)晶面上的遷移率較高，因此現(xiàn)代硅基MOSFET大多采用(100)晶片。

小結(jié)一下，晶面和晶向是晶體學(xué)中描述晶體結(jié)構(gòu)的兩種基本方式。晶向代表的是晶體內(nèi)的方向性，而晶面描述的是晶體中的特定平面。這兩者在半導(dǎo)體制造中緊密相關(guān)，晶面選擇直接影響材料的物理和化學(xué)特性，而晶向則影響晶體的生長(zhǎng)和加工工藝。理解晶面和晶向的關(guān)系對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體工藝流程和提高器件性能至關(guān)重要。