微納機器人是一類尺寸在微米到納米量級的機器人，具有在微觀環境下執行復雜任務的能力，在生物醫學、環境監測、工業制造等領域展現出巨大的應用潛力。然而，由于其尺寸極小，傳統的驅動和控制方法難以直接應用，因此需要借助高壓放大器等高性能設備來實現對微納機器人的精確操控。

圖：高壓放大器在驅動介電彈性體機器人的應用

一、高壓放大器在微納機器人中的關鍵作用

（一）提供高電壓驅動

微納機器人的驅動往往需要較高的電壓來克服其微小尺寸下的表面效應和摩擦力。高壓放大器能夠將信號發生器產生的低電壓信號放大到足夠高的電壓水平，為微納機器人的執行器提供必要的驅動電壓。例如，在液態金屬微型馬達的研究中，高壓放大器可在其表面形成厚厚的氧化膜，降低附著力，使其能夠在固體界面上實現三維跳躍運動。

（二）精確控制運動

微納機器人在執行任務時需要高度精確的運動控制。高壓放大器能夠精確調節輸出信號的幅值、頻率和相位，從而實現對微納機器人運動的精確導航。例如，在赫姆霍茲線圈三維磁場的微納機器人控制實驗中，通過高壓放大器與三相獨立設定及輸出控制相結合，能夠產生高頻磁場變化，實現對微納機器人定向運動的精確控制。

圖：ATA-7030高壓放大器在電致變形柔性致動器表情機器人實驗中的應用

（三）增強信號處理能力

微納機器人在工作過程中會產生微弱的信號，需要進行放大和處理才能被有效檢測和分析。高壓放大器不僅可以放大驅動信號，還可以放大傳感器信號，提升系統的靈敏度和響應速度。這有助于研究人員更準確地監測和分析微納機器人的運動狀態和周圍環境。

二、高壓放大器在微納機器人中的應用案例

（一）液態金屬微型馬達

在非液體環境中，利用可編程微電極陣列對家基液態金屬微型馬達進行三維操控。在高壓放大器高電壓的作用下，液態金屬微型馬達表面迅速形成厚厚的氧化膜，大大降低了其附著力。當將其置于直流電場下時，可實現在固體界面上的三維原地跳躍運動，并通過預編程的電場進行精確導航。這種液態金屬微型馬達未來有望在各種環境中完成更為復雜的任務，如在空氣、流體、真空、固體表面和多相界面等。

圖：高壓放大器在介電彈性體制成的軟機器人研究中的應用

（二）壓電驅動的微納機器人

壓電材料在微觀尺度下具有優異的機械和電學性能，常用于微納機器人的驅動。高壓放大器能夠提供高電壓信號，激發壓電材料產生機械變形，從而驅動微納機器人的運動。

（三）軟體微納機器人

在軟體機器人領域，高壓放大器可用于控制和驅動機器人的執行器，實現精確的形變和運動。ATA-7100高壓放大器能夠提供高達20kVp-p（±10kVp）的高壓輸出，帶寬可達DC~1.2kHz，適用于驅動高壓型負載，如介電彈性體等軟體材料。這種軟體微納機器人在仿生機器人、生物醫療等領域具有廣闊的應用前景。

圖：ATA-7000系列高壓放大器指標參數

高壓放大器在微納機器人研究中發揮著不可替代的關鍵作用。它能夠提供高電壓驅動，實現對微納機器人運動的精確控制，并增強信號處理能力，為微納機器人的研究和應用提供了強大的技術支持。隨著微納機器人技術的不斷發展，高壓放大器將在更多領域發揮重要作用，推動微納機器人技術的創新和突破。

審核編輯 黃宇