株式會社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下簡稱“村田”）開發出了面向工業設備的數字三軸MEMS(1)加速度傳感器“SCA3400系列”（以下簡稱“本產品”）。本產品在長期使用下的傳感器輸出變化值（偏移壽命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），屬于業內居先水平(3)。本產品具備高度耐久性，有助于提升橋梁、建筑等結構物劣化監測設備的可靠性。預計將于2025年10月開始量產。

(1) MEMS（微型電子機械系統）：通過對硅片等材料的精細加工，制造出傳感器結構和電子電路的技術。
(2) 偏移壽命漂移：指傳感器在使用期間輸出數值發生偏移的現象。該數值越高，偏移越大。
(3) 數據來源：村田，截至2025年6月23日。

隨著工業設備的數字化，自動檢測結構物和機械設備等異常或損傷、實現預測性維護的需求不斷增長。通過傳感器進行變化檢測是實現自動化的重要方式之一。尤其在對橋梁、建筑等進行結構健康監測時，需要進行長期監控，因此，能夠準確捕捉結構物微小形變或變化的加速度傳感器性能，會直接影響整個監測系統的可靠性。然而，傳統能夠檢測細微傾斜的高精度加速度傳感器，其偏移壽命漂移值較高，使用時間一長，基準位置偏移就會增大，導致難以準確監測結構物的劣化。

對此，村田通過自主研發的MEMS工藝與新型電路設計，開發出了既可檢測微小傾斜、又將偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下的本產品。借此，有助于提升結構健康監測等系統的長期高精度測量能力。本產品還具備出眾的抗振動和抗溫度變化能力，即使在惡劣環境下的工業設備中，也可實現長期穩定使用。

今后，村田將繼續致力于高精度加速度傳感器的研發，滿足多樣化的市場需求。

主要特點

偏移壽命漂移值業內居先，低于0.5mg。

低噪聲，能夠準確檢測微小動作。

具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，可在惡劣環境下穩定運行。

配備可實時監控傳感器狀態的自診斷功能。

與村田以往產品采用相同尺寸和輸出方式，便于客戶減少額外設計工時。

主要參數

審核編輯 黃宇