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常見氣體傳感器的類型和工作原理

中科院半導體所 ? 來源:芯學知 ? 2025-06-27 09:16 ? 次閱讀
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文章來源:芯學知

原文作者:芯啟未來

本文簡單介紹了10種常見的氣體感知方式。

在萬物互聯的社會,氣體感知技術已成為各領域發展的 “隱形衛士”。消費場景中,守護家居空氣質量;汽車領域,助力尾氣優化與安全監測;工業生產時,保障流程穩定、預防災害;醫療場景下,精準檢測呼吸氣體輔助診斷;環境監測中,實時捕捉污染物守護生態。從日常生活到宏觀生產,氣體感知技術以敏銳 “嗅覺”,推動各行業向智能化、安全化邁進。下面介紹10種常見的氣體感知方式。

PID光離子化氣體傳感器

PID(Photoionization Detector,光離子化檢測器)的核心原理是利用紫外光(UV)照射氣體分子,使其電離并產生可檢測的電流信號。PID傳感器的典型結構由紫外光源(UV燈)、電離室、電極系統、采樣系統和信號處理電路組成。PID適用于檢測電離能低于紫外光能量的揮發性氣體和蒸氣,主要為揮發性有機化合物(VOCs)、氨氣(NH?)、硫化氫(H?S)、氰化氫(HCN)、磷化氫(PH?)等。PID在工業安全,化工泄漏、加油站油氣揮發監測以及應急響應,危險化學品事故現場氣體檢測發揮重要作用。

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圖1PID氣體傳感器原理

熱導式氣體傳感器

利用不同氣體熱導率差異,傳感器由檢測元件(如鉑絲)和參比元件組成惠斯通電橋。當目標氣體進入檢測氣室時,其熱導率與空氣不同,導致檢測元件溫度變化,電橋失衡,輸出與氣體濃度成正比的電壓信號。可實現檢測高濃度H?、CO?,或混合氣體中某一組分(如天然氣中的CH?)。

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圖2 熱導式氣體傳感器及電路示意圖

非色散紅外(NDIR)氣體傳感器

基于氣體對特定紅外波長的選擇性吸收(如CO?在4.26μm處的吸收峰)。傳感器由紅外光源、濾光片、氣室和探測器組成。目標氣體吸收特定波長的紅外光,探測器接收到的光強減弱,通過朗伯-比爾定律計算氣體濃度。可檢測CO?、CO、CH?等溫室氣體或有毒氣體。

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圖3NDIR傳感器結構和光路

光纖氣體傳感器

光和氣體在纖芯內部或表面附近相互作用,改變了光的強度和相位,產生熱量、聲波或新的光波長等,通過探測這些變化可以得到氣體的種類和含量。對于在工作波段吸收較強的氣體,可以直接探測其光譜損耗或色散,或者可基于光熱、光聲效應測量氣體吸收泵浦光后引起的探測光的相位變化。對于吸收較弱或沒有吸收但具有拉曼活性的氣體,可以探測其拉曼光譜、受激拉曼增益或色散。傳感光纖可以是空芯光子帶隙光纖、空芯反諧振光纖或微納芯光纖。

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圖4 光纖氣體傳感器物理過程和光纖

聲表面波(SAW)氣體傳感器

在壓電基片(如石英、LiNbO?)上制作叉指換能器(IDT),激發聲表面波。基片表面涂覆敏感膜(如聚合物或金屬氧化物),當目標氣體吸附時,膜層質量或電導率變化,導致聲表面波傳播速度或頻率偏移,通過測量頻率變化檢測氣體濃度。 典型應用在檢測VOCs、NH?、H?S等低濃度氣體。

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圖5SAW氣體傳感器結構示意圖

光聲光譜(PAS)氣體傳感器

氣體吸收特定波長激光后,分子通過非輻射躍遷釋放熱量,引起局部氣體膨脹產生聲波。高靈敏度麥克風檢測聲波信號,聲強與氣體濃度成正比。PAS傳感器主要由光源、光聲池、探測器、信號處理電路等部分構成,光聲池是光聲信號產生的場所,通常為一個封閉的腔體,內部充滿待測氣體。光聲池的設計和結構會影響光聲信號的強度和質量,如腔體的形狀、尺寸、材料等。典型應用為痕量氣體檢測(如CO、CO2和CH?)、工業過程監測。

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圖6 光聲光譜氣體傳感器結構和原理

激光式氣體傳感器

激光式氣體傳感器分為可調諧二極管激光吸收光譜(TDLAS)和光腔衰蕩光譜(CRDS)。TDLAS基于朗伯-比爾定律,使用半導體激光器掃描目標氣體的特征吸收峰(如CH?在1.65μm處),通過測量激光強度衰減計算濃度,具有高分辨率和抗干擾能力。CRDS激光在高反射率光學腔(反射率> 99.99%)內多次反射,氣體吸收導致光強呈指數衰減,通過測量衰蕩時間(光強衰減至初始值的1/e所需時間)測定氣體濃度,靈敏度可達ppb級。

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圖7 可調諧二極管激光吸收光譜(TDLAS)原理及結構

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圖8 光腔衰蕩光譜(CRDS)光學腔結構

金屬氧化物式氣體傳感器

基于金屬氧化物半導體(如SnO?、ZnO)表面的氧化還原反應。當目標氣體(如還原性氣體CO、H?)吸附到加熱的金屬氧化物表面時,發生電子轉移,導致材料電導率變化。例如,SnO?在高溫下吸附CO后,CO被氧化為CO?,釋放電子,使n型半導體電導率增加。 典型應用為檢測CO、CH?、酒精、甲醛等可燃或有毒氣體。

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圖9 金屬氧化物氣體傳感器結構

催化燃燒式氣體傳感器

可燃氣體在催化劑(如鉑、鈀)表面催化燃燒,釋放熱量使溫度傳感器(如鉑電阻)電阻值升高。通過測量電阻變化檢測氣體濃度。傳感器通常采用惠斯通電橋結構,參比元件用于溫度補償。典型應用為檢測甲烷、丙烷、氫氣等可燃氣體,廣泛用于工業安全和燃氣泄漏監測。

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圖10 催化燃燒傳感器結構

電化學式氣體傳感器

常用的電化學式氣體傳感器主要是恒定電位電解型氣體傳感器和原電池型氣體傳感器。恒定電位電解池型原理為通過施加恒定電壓驅動氣體在電極上反應(如CO在工作電極氧化),產生的電流與氣體濃度成正比,適用于檢測還原性氣體(如CO、H?S)。原電池型原理是氣體在電極上發生自發氧化還原反應,產生與濃度成正比的電流。例如,氧氣傳感器中,O?在陰極還原,鉛在陽極氧化,電流大小直接反映O?濃度。典型應用為檢測O?、Cl?、SO?等氧化性氣體。

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圖11 電化學氣體傳感器示意圖


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原文標題:一文讀懂十種氣體感知方式

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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