半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和材料,是半導(dǎo)體產(chǎn)品的最上游。全世界每年銷售的生產(chǎn)設(shè)備和材料,加起來總共800多億美元左右,隨著 AI 芯片、5G 芯片、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等下游的興起,全球半導(dǎo)體行業(yè)重回景氣周期。芯片應(yīng)用領(lǐng)域擴大,半導(dǎo)體行業(yè)進入高景氣周期確定。
伴隨著半導(dǎo)體廠房的大規(guī)模發(fā)展以及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的日趨復(fù)雜,半導(dǎo)體廠對廠房的潔凈度、設(shè)備運行的故障率、生產(chǎn)所需的介質(zhì)(生產(chǎn)所需的水、氨水、酸、堿及有機氣體等)要求極高,生產(chǎn)介質(zhì)所產(chǎn)生的泄漏將會直接影響整個生產(chǎn)的流程。例如:半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部及管道容易出現(xiàn)的漏酸、漏堿、漏水情況,這些液體的泄漏很有可能導(dǎo)致不可估量的損失。此類廠房需針對可能產(chǎn)生泄漏的區(qū)域作重點監(jiān)測:上夾層主要監(jiān)測運行設(shè)備(空調(diào)、空調(diào)水管等)可能產(chǎn)生的漏水;工作區(qū)間對使用酸堿液體生產(chǎn)的設(shè)備監(jiān)測進出介質(zhì)的管道、廢介質(zhì)回收導(dǎo)流槽等部位監(jiān)測;下夾層是半導(dǎo)體生產(chǎn)的重點監(jiān)測點,由于生產(chǎn)所需的介質(zhì)一般都有該夾層進出至不同的生產(chǎn)線,夾層內(nèi)管道縱橫交錯,人員進出不方便,如果產(chǎn)生泄漏,人工檢查很難找到發(fā)生泄漏的具體位置,根據(jù)管道的布置在其下方迂回布置相應(yīng)的感應(yīng)線纜。
因此對液體和氣體壓力的監(jiān)控就越來越重要.在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域離不開酸堿類化學(xué)用品,它作為產(chǎn)品的必要原料以及一系列反應(yīng)過程中的催化劑。絕大多數(shù)酸堿類液體具有揮發(fā)性、腐蝕性、有毒性,若在生產(chǎn)或運輸過程中發(fā)生泄漏,且未能及時發(fā)現(xiàn)和控制,將會帶來不可預(yù)料的后果。不但遭受經(jīng)濟損失,環(huán)境污染,造成人員傷亡。根據(jù)各半導(dǎo)體廠房的生產(chǎn)不同,廠房內(nèi)部的管道液體也有出入,例如:酸/堿等化學(xué)液體,另外大多數(shù)廠房還采用工作人員現(xiàn)場巡檢方式,尋找安全隱患,浪費人力物力。
針對上述情況,迫切的需要一種能方便安裝、反應(yīng)迅速、準確度高、無人值守的高穩(wěn)定性檢測設(shè)備。目前傳感器被廣泛地應(yīng)用于這一領(lǐng)域.盡管在許多場合,傳感器獨一無二的設(shè)計與精度的要求具有決定性的作用,但傳感器的成本與有效性(性能價格比)也是十分重要的.針對半導(dǎo)體廠房設(shè)備液體泄漏問題,工釆網(wǎng)為半導(dǎo)體廠房設(shè)備液體泄漏監(jiān)測提供工業(yè)級光電液位傳感器/光電液位開關(guān) - LLC210D324-003相對應(yīng)的解決方案。
LLC工業(yè)級液位傳感器是單點檢測,電平信號輸出。 這款傳感器適用于大功率輸出場合,可以直接驅(qū)動白熾燈指示燈, 聲音報警器,繼電器或其它情形。 一個紅外LED光源和光電管探測器精確地安裝在傳感端的基座上, 能確保在空氣中達到很好的光耦合。當(dāng)感應(yīng)端浸入液體,紅外光會 從錐形表面透射出去,而光電管接受到的光強會變小,導(dǎo)致輸出電平發(fā)生變化。多樣化的輸出電路可滿足不同的應(yīng)用場合。如遇發(fā)生漏液,將會精準地檢測到并進行報警,通過監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)出報警通知值班人員。漏液隱患分布范圍較廣,還可進行定位漏液報警器,監(jiān)控漏液的實際位置,即可快速找到漏液點位,并及時處理,減少廠房損失。
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