有許多因素導致加速度計技術(shù)的快速發(fā)展。首先是這類設(shè)備的市場不斷擴大，特別是在汽車，消費品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領(lǐng)域，加速度計可以實現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場上取得成功的新功能。例如，自動碰撞通知（ACN）系統(tǒng)，運動敏感型游戲控制器和智能手機以及用于測量跑步性能的慣性足墊都歸功于新型高度緊湊的加速度計。

從技術(shù)角度來看，微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的成熟使得越來越多的MEMS代工廠在越來越小的封裝中廣泛使用可靠的器件。此外，MEMS設(shè)計受益于數(shù)字電子設(shè)備的結(jié)合，不僅可以提高其性能，還可以簡化它們與最終系統(tǒng)的集成。這種設(shè)備的可用性產(chǎn)生了新一代環(huán)保電子系統(tǒng)，同時產(chǎn)生了更好的產(chǎn)品，為工業(yè)應用中的傳統(tǒng)功能提供服務。

單軸加速度計

加速度計如今只能測量一個軸（x，y或z）的加速度，或同時測量兩個或三個軸的加速度。用于汽車控制應用的精密單軸加速度計的一個很好的例子是VTI技術(shù)的SCA620-CF8H1A（圖1）。基于該公司的電容式3D-MEMS技術(shù)，它旨在用作z軸傳感器，旨在實現(xiàn)高可靠性，精確性和溫度與時間的穩(wěn)定性，以精確測量加速度，傾斜度，運動或振動。符合AEC Q-100標準的器件測量范圍為±1.7 g，靈敏度為1.2 V/g，提供比例公制的模擬（0至5 V）輸出（即輸出值取決于值輸入電源電壓），可承受20，000克的沖擊。

圖1：采用11.3 x 10.5 x 5.1 mm 8針塑料表面貼裝封裝，帶有鷗翼支腿，可安裝拾取和放置機器，VTI Technolgies的SCA620-CF8H1A可為汽車應用提供±1.7 g范圍內(nèi)的精確z軸測量。 （由VTI Technologies提供）

ADI公司還提供單軸加速度計 - ADXL78高g iMEMS加速度計（圖2） - 具有比率公制輸出，但具有更寬的測量范圍。最初設(shè)計用于前部和側(cè)面碰撞安全氣囊，它還可以在各種其他應用中提供完整，經(jīng)濟的解決方案。該器件具有±35，±50和±50 g范圍，具有自測功能，可將所有機械和電氣元件的數(shù)字信號應用于單個引腳，因此用戶可以驗證器件的運行情況，以獲得高度可靠的性能以及預防性維護。采用5V源輸入（VDD）工作時，±35 g版本的輸出靈敏度通常為55 mV/g。

圖2：提供±35，±50和±50 g型號，ADXL78高g iMEMS加速度計可提供5×5×2 mm ，8端子陶瓷LCC封裝。 （由Analog Devices提供）

雙軸器件

飛思卡爾半導體最近推出了MMA6331L雙軸（x，y）電容式微機械加速度計（圖3），這是一款針對手持式電池供電的MEMS傳感器電子產(chǎn)品。除了內(nèi)置信號調(diào)理，1極低通濾波器和溫度補償外，低功耗器件還具有g(shù)-Select功能，可讓用戶選擇兩個范圍中的任意一個 - ±4 g和±9 g - 通過向?qū)Ｓ胓-Select引腳發(fā)送邏輯0或1，在器件工作期間的任何時間。

MMA6331L比率公差輸出的典型靈敏度在±4 g范圍內(nèi)為308 mV/g，在±9 g范圍內(nèi)為83.6 mV/g。該器件采用2.2至3.6 V電源供電，正常工作時典型功耗僅為400μA，而在休眠模式下，電流僅降至3μA，大大減少了電池消耗。

圖3：3 x 5 x 1.0 mm，LGA-14封裝的MMA6331L雙軸加速度計允許用戶在運行中選擇兩個范圍中的任意一個 - ±4 g和±9 g。 （由飛思卡爾半導體提供）

STMicroelectronics還提供雙軸MEMS加速度計 - LIS244ALH - 具有兩個用戶可選范圍：±2 g和±6 g。它能夠測量高頻下的加速度 - 在所有軸上達到2.0 kHz。與ADXL78一樣，4 x 4 x 1.5 LGA封裝器件具有內(nèi)置自檢功能。

三軸傳感器

三軸傳感器目前受到極大關(guān)注，因為它們提供所有類型的加速度信息，從而在單個封裝中支持極其廣泛的應用。作為最早開發(fā)商用MEMS技術(shù)的公司之一，博世Sensortec將其BMA120數(shù)字三軸加速度傳感器（圖4）作為“新一代數(shù)字加速度傳感器”推出.BMA120集成了多種功能，便于將其用于此類運動檢測應用中。設(shè)備方向檢測，游戲，HMI和菜單瀏覽器控制等。

圖4：BMA120在LGA封裝中壓縮三軸感應功能和數(shù)字接口，尺寸僅為3 x 3 x 0.9 mm。 （由Bosch Sensortec提供）

與前面討論的傳感器不同，BMA120輸出其測量結(jié)果，可通過串行數(shù)字接口（SPI或I2C）進行控制，從而簡化了集成，同時減少了部件數(shù)量。加速度計具有內(nèi)置自檢功能，提供四種用戶可選范圍 - ±2，±4，±8和±16 g - 靈敏度范圍為16 LSB/g至2 LSB/g，具體取決于量程。該傳感器還允許用戶將設(shè)備設(shè)置為不同的帶寬：50，75，150，250和600 Hz以及1 kHz。該裝置是一種極低功耗的裝置;它采用1.8 V電源供電，工作時功耗為430μA，睡眠模式下功耗為2μA。對三軸傳感的需求很高，前面提到的許多供應商也提供三軸傳感器來與博世競爭。在這種情況下，明顯的贏家是用戶。