江蘇泊蘇系統集成有限公司文章

• 第三代半導體防震基座的技術難點有哪些？2024-12-27 16:11

  

  高性能材料研發：需要具備更高阻尼性能、更低自然頻率、更好的耐腐蝕性和耐高溫性的特殊材料，如先進的復合材料、特種合金等。目前部分高性能材料依賴進口，限制了國內防震基座性能的提升。

  半導體設備 基座 第三代半導體 518瀏覽量

• 半導體制造fab廠房建筑防震振動測試介紹2024-12-26 16:52

  

  半導體制造FAB廠房建筑防震振動測試‌

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• 防震基座的定制生產流程2024-12-26 16:48

  

  與客戶進行詳細溝通，了解半導體設備的基本信息，包括設備類型（如光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等）、設備尺寸（長、寬、高）、設備重量（包括滿載和空載狀態）、設備重心位置等。這些參數對于設計防震基座的承載能力和穩定性至關重要。

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• 防震基座安裝精度的行業標準是什么？2024-12-26 16:45

  

  尺寸精度：基座的長、寬、高尺寸公差一般要控制在 ±1-±3mm 范圍內，具體取決于設備的規格要求。例如，對于高精度光刻機的防震基座，尺寸公差可能要求在 ±1mm 以內。安裝孔的位置精度更為關鍵，位置度公差通常在 ±0.5-±1mm 之間.

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• 未來五年中國集成電路與半導體設備防震基座需求預測2024-12-25 16:11

  

  未來五年中國集成電路與半導體產業將持續擴張，新建多個晶圓廠和生產線。例如，北京、上海、廣東、江蘇等地都有大型集成電路項目規劃與建設，這些項目將引入大量光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等半導體制造設備，而每臺設備都需要配備相應的防震基座，從而直接帶動防震基座的新增需求.

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• 半導體設備防震基座安裝完成后，如何進行日常維護?2024-12-25 16:06

  

  半導體設備防震基座的日常維護對于確保其性能穩定、延長使用壽命以及保障半導體設備的正常運行至關重要。以下是一些常見的日常維護要點：

  半導體 半導體設備 基座 583瀏覽量

• 泊蘇防震基座的優點有哪些？2024-12-25 16:03

  

  半導體設備防震基座的日常維護對于確保其性能穩定、延長使用壽命以及保障半導體設備的正常運行至關重要。以下是一些常見的日常維護要點：

  半導體 半導體設備 基座 429瀏覽量

• 如何提高防震基座的安裝精度？2024-12-24 14:53

  

  在安裝防震基座之前，需要對安裝場地進行精確測量。使用高精度的水準儀、經緯儀或全站儀等測量儀器，測量地面的平整度和水平度，確保地面的平整度誤差在允許范圍內。例如，對于高精度半導體設備的防震基座安裝，地面平整度誤差一般要求控制在 ±1mm/m 以內。

  半導體設備 基座 安裝精度 662瀏覽量

• 半導體晶圓制造工藝流程2024-12-24 14:30

  

  半導體晶圓制造是現代電子產業中不可或缺的一環，它是整個電子行業的基礎。這項工藝的流程非常復雜，包含了很多步驟和技術，下面將詳細介紹其主要的制造工藝流程。第一步：晶圓生長晶圓生長是半導體制造的第一步，它通常采用的方法是化學氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD）。該過程的目的是在單晶硅上制造出一層高純度的薄層，這就是半導體芯片的原料。第二步：晶圓拋光晶圓拋光

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• 半導體制造設備防震基座是否能有效減少設備振動？2024-12-24 14:30

  

  防震基座是用于減少設備振動的一種裝置，通過在設備和地面之間增加一層減震材料來減緩振動的傳播。這種基座被廣泛應用于各種設備，包括機械設備、電子設備、實驗室設備等。但是，其實際的減震效果是受多種因素影響的，包括基座的材料、幾何結構、質量等。本文將從減震基座的原理、設計與制造、實際應用和效果評價等方面來探討設備減震基座是否能有效減少設備振動。設備振動是指設備在運行

  制造設備 半導體 設備振動 823瀏覽量