主要技術指標 

型號 6514 6517B 

電流測量 <1fA(包含噪聲)～20mA 

電壓測量 10μV(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～200V 

電阻測量 10Ω～200GΩ 100Ω～10PΩ 

低電阻精度優于1%，高電阻精度優于10% 

（使用236、237、238測量，通過加電壓測電流或加電流測電壓實現，不直接顯示阻值） 

電荷測量 10fC(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～20μC 10fC(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～2μC 

特性插頭 3 Slot Triax 3 Slot Triax 

IEEE-488 有 有 

RS-232 有 有 

Guard 有 有 

CE 有 有 

其它 5 1/2精度，替代6512、617-HIQ 5 1/2精度，內置±1kV電壓源。濕度、 

溫度測量。采用交替電壓極性法測高阻 

可配置多通道的掃描卡 

附件 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜， 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜， 

鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線 鱷魚夾型2m長3插槽三同軸線， 

8607安全型高壓雙路測試線， 

6517-TP熱電偶探針， 

CS-1305互鎖連接頭 

從三個敏感選項中選擇，實現精確的高阻抗和低電流測量。5? 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電荷測量。6? 位 6430 型亞 fA 遠程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學應用。

特點

特點
優勢
超低噪聲（6430 為 0.4fA p-p ，6517B 和 6514 <1fA）
高達 10 16 ? 的電阻測量 (6517B)
遠程預放大器可以位于信號源 (6430)
低輸入端壓降
內置 ±1kV 電壓源，提供掃描功能 (6517B)
適用于測量試樣材料的體積和表面電阻的選配 8009 型電阻率測試盒 (6517B)
即使在低電平信號上也能實現高測量速度
可編程數字 I/O 和內置接口

優勢
確保對設備和材料研究中常見的超低電流實現更精確的測量
精確測量超高電阻材料和絕緣體
允許直接或短暫連接到信號源，較大限度地減少電纜噪聲等噪聲源
消除影響低電流測量精度的誤差
簡化了執行泄漏、擊穿和電阻測試，以及對高電阻率材料執行體積 (?-cm) 和表面電阻率 (?/square) 測量的過程。
防止您接觸潛在危險電壓 — 打開測試盒蓋子時自動關閉儀器的電壓源
支持更快的低電平元器件測試。
簡化構建自動化元器件測試系統的過程。