中圖儀器SEM掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，制作工藝相對簡單，材料成本也較低，使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高，從而降低了臺式掃描電鏡的設備采購成本。
鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級真空泵系統獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發射電子槍那樣的超高真空環境，這不僅降低了真空系統的復雜度和成本，還縮短了抽真空的時間，提高了工作效率。
中圖儀器CEM3000系列SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統，以便精準調節樣品倉內真空度，滿足不同樣品的觀測需求。
產品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數
滿足專業用戶的調節需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實現四分窗同時掃描成像。
核心優勢
1、緊湊靈活，突破空間限制
（1）臺式設計，體積小巧，輕松擺放在桌面或狹小空間（如手套箱、移動實驗室），節省實驗室空間。
（2）支持快速移機，一臺設備滿足多場景需求，助力科研效率提升。
2、高性能，納米級分辨率
（1）空間分辨率優于4nm（SE），支持高達200,000倍放大，精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
（2）高襯度成像系統，快速掃描也能清晰呈現微弱信號，滿足材料科學、生命科學等領域的需求。
3、抗振防磁，穩定無懼挑戰
（1）特殊隔振設計（CEM3000B搭載復合抗振系統），消除環境振動與電磁干擾，保障高倍成像質量。
（2）適用于工業車間、車載實驗室等復雜環境，穩定可靠。
4、高效便捷，一鍵智能操作
（1）快速抽放氣技術：低真空模式僅需40秒（CEM3000B），高真空模式最快1.5分鐘，大幅縮短等待時間。
（2）自動對焦、消像散、圖像增強功能，一鍵生成高質量圖片，降低操作門檻。
5、靈活拓展，滿足多樣需求
（1）可選配低真空系統（5~100Pa），兼容導電/非導電樣品觀測。
（2）中圖儀器SEM掃描電鏡品牌支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀，搭配顆粒統計、孔隙率測量等定制功能，滿足多領域分析需求。
應用場景
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業質檢：錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE)，優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空：優于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
