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上海屹持光電技術(shù)有限公司

紅外觀察儀、飛秒激光器、太赫茲相機(jī)、太赫茲光譜儀  

217 內(nèi)容數(shù) 5.7w 瀏覽量 18 粉絲

硅片厚度測量儀SIT-200

型號(hào): SIT-200

--- 產(chǎn)品詳情 ---

硅片厚度測量儀SIT-200

硅片厚度測量儀(SIT-200)由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

l  全光學(xué),非接觸硅片厚度測試

l  高動(dòng)態(tài)范圍測量粗糙表面

l  濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測量

高靈敏度         高精度           快速測量        遠(yuǎn)程控制

結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200 

                                

產(chǎn)品參數(shù):

測量目標(biāo)

硅片

測量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm掃描

功率

0.6mw,Class1

指示光源

紅光,Class1M

測量時(shí)間

20ms

重復(fù)性

0.1μm

輸出監(jiān)控

干擾信號(hào)(電學(xué))

PC接口

網(wǎng)口

供電

100-240V,50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

上海屹持光電技術(shù)有限公司

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