NightN光學表面形貌測試儀HION

產品介紹：

光學測試儀HION用于光學表面測試。該技術基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測光學表面反射并進入 Shack-Hartmann 波前傳感器進行進一步處理。

產品規格：

1. 光學孔徑：10 至 50 mm（可選300 mm）

2. 測量時間：10 ms

3. 測量精度：32 nm (P-V)

4. 測量偏差：5 μm（P-V）

5. 光源：二極管激光器

6. 光源波長：0.65 μm

7. CCD/CMOS相機

結果輸出：

1. 峰-谷誤差P-V，均方根（RMS）

2. 將像差展開為Seidel 和 Zernike 多項式（傾斜、散焦、像散等）

3. 2D 和 3D 波前，干涉條紋