三坐標測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統（如光學尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的三維坐標測量儀器。
中圖儀器Mars系列三坐標測量機是移動橋式的三坐標測量機。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也支持觸發、掃描和非接觸式探測系統，對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等。
主要特點
1、三軸均采用低熱膨脹系數的花崗巖導軌，機器具有良好的溫度適應性，抗時效變形能力。
2、環抱式的氣浮布局，使機器保持長時間的穩定運行，并且具有高的運行精度。
3、關鍵部件一體鑄造成型，結構緊湊，重量輕，強度高，運行更為快速平穩、測量精度更高。
4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運動過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運動的精度。
5、采用海德漢光柵尺，確保機器在使用過程中具有高精度和長時間的穩定性。
6、高剛性傳動，保證了機器傳動的剛性和平穩性，提高了機器的運動精度。
7、固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。
8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。
Mars系列三坐標的測頭系統是由測座、測頭、探針等組成，是數據采集的傳感器系統，三坐標測量機在對工件進行測量時，能夠根據測頭系統探測工件，返回工件表面的點數據，通過三坐標的軟件系統計算各類幾何形狀、尺寸等。
1.測頭座
測頭座是探測系統中連接三坐標測量機移動軸與測頭的部分，測頭信號通過測座同三坐標測量機控制系統的測頭接口相連。測座有多種，主要分為手動可旋轉測座、固定測座、萬向探測系統三種。
2.測頭
測頭是測量機觸測被測零件的發訊開關，它是坐標測量機的關鍵部件，主體為探測傳感器，一般由獨立的控制系統控制，其主要包括測量力的控制、測量過程控制、測點的感知、與坐標測量系統通訊等。
3.探針
安裝在測頭上，并接觸被測量元件，典型結構為測桿＋紅寶石球。不同形狀和規格，確保測頭不受限制的對工件所有特征元素進行測量，整個探針系統包括：接長桿、轉接件、探針(組)等。探針系統可以根據相關的測量要求，通過對這些構件的組合與配置，形成各種結構形式，以完成不同的測量任務。
4.附件
1）加長桿
加長桿探針的輔助測量，具有測量較深位置特征的能力。
2）更換架
由于被測工件的復雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針(系統)完成所有的測量任務，更換架可對測量機測座上的測頭/加長桿/探針組合進行快速、可重復的更換，在同一測量系統下對不同的工件進行自動化的檢測。
3）標準球
由坐標測量系統供應商提供的一個(組)已知直徑的高精度球(球度誤差很小)， 用來標定和校準探測系統。這個裝置在平時使用過程中必須注意保護，因為它是測量機精度的依據之一，也是使用很頻繁的一個裝置。
選配件
1.冷干機
三坐標用氣源的初級空氣過濾，除水，除油，為三坐標本身所配置的精密過濾系統減輕壓力，有效延長測量機的使用壽命。
2.UPS穩壓電源
提供電壓及斷電延遲保護，防止客戶現場因為電壓不穩定造成測量機元器件的損壞及防止因意外斷電造成正在測量過程中的數據丟失。
3.測頭更換架
由于被測工件的復雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針完成所有的測量任務，更換架可對測量機測座上的測頭/加長桿/探針組合進行快速、可重復性的更換，在同一測量系統下對不同的工件進行自動化的檢測。
4.夾具
三坐標夾具使用在測量機上，利用其模塊化的支持和參考裝置，完成對所測工件的柔性固定。
5.打印機
打印機可用于將測量報告打印輸出。
中圖儀器三坐標測量儀采用自主研發的設計與測量系統，提供了測量機的高精度性能，測量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm，結合多樣化配置，可滿足不同的測量需求。
