資料介紹
1,停爐:收尾結(jié)束后停爐
首先將F3速度控制里控速輸出清零,溫校速率與溫校輸出清零,再將F4繼電控制里面的電流過低報警及下依次關(guān)閉,將歐陸表WSP打閉環(huán)至OP,將功率降至0,然后關(guān)閉加熱按鈕,
?同時將堝轉(zhuǎn)關(guān)閉,晶轉(zhuǎn)調(diào)低(如由原來10轉(zhuǎn)改為5轉(zhuǎn)),關(guān)閉晶升,待關(guān)閉加熱按鈕5小時后拆爐
2,拆爐:
?首先熱后真空檢漏,關(guān)閉Ar氣抽至真空狀,然后關(guān)閉真空閥,關(guān)閉主室泵,3min不超1Pa說明爐內(nèi)密封性良好(升晶棒前應將晶轉(zhuǎn)關(guān)閉),然后關(guān)閉真空計,打開Ar氣,待Ar氣充至一定時間將內(nèi)外壓力平衡,此時可打開門將Ar氣關(guān)閉,為安全起見將主副室隔離板落下進行隔離,開啟液壓系統(tǒng),卸荷(長按聽到響聲為準)升副室,取晶棒。
3,拆爐后清理- 單晶硅太陽電池的溫度和光強特性
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