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步進電動機高精度細分方法及其控制系統(tǒng)
本論文題目來自對現(xiàn)有橢偏儀進行技術改進工作中的“用步進電機取代傳統(tǒng)直流減速電機”的研究課題。橢圓偏振測量技術是一種測量薄膜厚度和研究其表面特性的先進方法，具有靈敏度高、精度高、實時和無損樣品的優(yōu)點。
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