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簡介
FSG系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化管理功能。
產(chǎn)品特點：
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高；
傳感器的零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性
全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗
低壓損
響應(yīng)時間快
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