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以單端口DUT測量為例，測試模型參考one port error model。
由 于VNA的輸出和DUT的待測輸入一般都存在中間過渡件/連接件，使得理想網絡分析儀的測試平面和DUT的待測平面間出現了一個誤差網絡。對于單端口誤差 模型，有三個誤差項。為了求解三個誤差項，由線性矩陣理論，需要建立三個不相關的方程來求解。校準的原理就是建立這三個方程。
通過在測試面 加入三個已知特性的校準件，例如開路件，反射系數理論上為1，短路件，反射系數理論上為-1，負載件反射系數理論上為0。通過VNA測量這三個校準件，得 到實際測量結果。也就得到包含三個誤差模型的線性方程，通過求解就能得到三個誤差項。在后續的測量中，在直接獲得的測試結果中，先通過數學運算，消除三個 誤差項帶來的影響，顯示給用戶的就是校準后DUT的特性。
當然兩端口誤差模型更加復雜，分為正向和反向，正向具有6個誤差項，反向也有6個誤差項，總共有12個誤差項需要求解，求解方法可用參考“RF Measurement of Die and Packages”
當然一般網絡分析儀提供的二端口矢量校準方法為SOLT，通過單端口的分析，其實校準件的本質是建立誤差模型方程，選擇不同已知反射系數的校準件，就得到了很多不同的校準方法，例如LRM，LRRM，TRL等等。
當然校準的本質也是去嵌入（De-embedding）的過程，去嵌入的本質得到誤差網絡的S參數，通過轉換到T參數，運用級聯運算進行消除。去嵌入還能夠消除非傳輸線網絡的S參數，應用也比校準廣泛。
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