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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>一種層狀結構聲表面波流體傳感器研究

一種層狀結構聲表面波流體傳感器研究

2018-02-09 | rar | 0.95 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

  隨著聲表面波器件向小型化和微型化持續發展,各類聲表面波傳感器也不斷涌現。其中聲表面波流體傳感器的研究也得到了廣泛開展。過去認為聲表面波將在流體內發生嚴重衰減,但是隨著流體層厚度的減小,流體粘性效應的作用也在逐漸變小,而質量效應在不斷增加。正基于此種思路,各種聲表面波微量流體的加熱和驅動理論也在不斷提出。本文設計了由彈性層、保護層和流體層組成的層狀結構聲表面波流體傳感器,并分析了聲表面波在此模型中的傳播特性。
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