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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>如何設計一個多晶硅壓力傳感器

如何設計一個多晶硅壓力傳感器

2020-03-11 | pdf | 0.16 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

  研制一種多品硅壓力傳感器。它采用二氧化建介質膜隔離代替p-n結隔離,提高了工作溫度;通過控制掙雜濃度,改善了溫度持性。實驗表明,該傳感器靈敏度高,工作溫限高,溫度漂移小.

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