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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>高性能MEMS電容壓力傳感器的設計及其熱分析

高性能MEMS電容壓力傳感器的設計及其熱分析

2021-03-20 | rar | 1.02 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  為了進一步提高接觸式電容壓力傳感器的性能,設計了一種高性能雙凹槽結構的接觸式電容壓力傳感器,并對該傳感器在高溫環境中的總體性能進行了分析。推導了熱傳導和熱彈性理論,并對影響傳感器熱分析的各個因素與溫度的依賴關系進行了描述;在整個分析過程中,使用ANSYS軟件并結合有限元方法對全尺寸傳感器的熱效應進行模擬。結果表明,在接觸工作狀態雙凹槽接觸式電容壓力傳感器的溫度對輸入(壓力)2輸出(電容)特性的影響是線性的,且線性范圍內初始壓力隨溫度的升高而降低。

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