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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>智能剝離SOI高溫壓力傳感器

智能剝離SOI高溫壓力傳感器

2021-03-24 | rar | 0.22 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  采用改進的 RCA 清洗工藝提高了硅片的低溫鍵合質量, 提出了一種積聚式緩慢退火剝離方法用于制備智能剝離 SO I (Silicon O n Insulato r) 材料, 并用該材料成功地研制了雙島2梁2膜結構的 SOI 高溫壓力傳感器。 對SOI壓力傳感器的測量結果表明, 當溫度增加到 150℃左右時, 輸出電壓沒有明顯的變化, 其工作溫度高于一般的體硅壓力傳感器 (其工作溫度一般在 120℃以下)。 測得所制備SOI壓力傳感器的靈敏度為 63mV ?(M Pa·5V ) , 比用相同版圖設計和工藝參數制備的多晶硅壓力傳感器高約 7 倍多。

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