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介紹了用于加工太赫茲波元件的微機械加工技術(銑削、放電加工、電鑄、濕法腐蝕Si 、干法腐蝕Si 、厚光刻膠: SU - 8 和L IGA) 及其最新結果。重點描述了應用于太赫茲波的器件和集成電路, 如將可用于太赫茲波的各種新穎二極管、半導體納米器件、新的高電子遷移率晶體管、毫米波集成電路、量子器件、紅外器件、量子級聯激光器(單極級間躍遷激光器) 。基于帶間躍遷量子機理的半導體器件(譬如量子級聯激光器) 的頻率極限高于與半導體能帶隙相關器件的頻率, 其大多數體半導體的頻率可以達到10 THz 以上。但是, 基于經典的電子擴散傳輸機理的二極管、三極管的高頻極限則受限于渡越時間和寄生參數RC 時間常數。
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