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平面光波導技術
平面光波導技術是在集成電路技術的基礎上發展起來的，有其獨特的地方。集成電路的基本元件是電阻、電容、電感和晶體管（二極管、三極管），集成電路技術是在硅襯底上通過薄膜沉積、擴散、外延、光刻、刻蝕、退火等工藝制作這些基本的元件，并且用導線互聯。平面光波導的基本元件是激光器、光波導和探測器，所用襯底材料各異、如 InP、GaAs、SiO2、 LiNbO3 等，材料各異工藝也不盡相同。集成電路技術對所成薄膜的厚度、折射率和殘余應力要求不甚嚴格，但對于平面光波導技術而言，厚度、折射率和殘余應力則要求精細控制，否則不能實現光波信號的產生、控制、傳輸與探測。
平面光波導器件
平面光波導器件是采用平面光波導技術制造而成的器件，分為無源器件、有源器件以及有源/無源混合集成器件。
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