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超聲波電動機是利用壓電材料的逆壓電效應激發定子彈性體產生超聲頻域的振動，并通過摩擦接觸驅動與之耦合的動子做旋轉或直線運動。超聲波電動機具有結構簡單、低速大力矩、響應速度快、斷電自鎖、無噪聲和不受電磁干擾等優點，廣泛用于精密器械、航空航天、醫療儀器、工業自動化和機器人等高新技術領域。
超聲波電動機按運動方式可分為旋轉型和直線型。直線超聲波電動機具有結構設計靈活、體積小、運動精度高和良好的控制特性，在微機電系統中具有廣泛的應用前景。 本文采用三個壓電雙晶懸臂梁結構代替三個壓電疊堆，研制了一種利用PZT d3．模式工作的T型直線超聲波電動機。每個壓電雙晶懸臂梁由兩片極化方向相反、工作模式為d31的陶瓷片粘接在金屬懸臂梁基板上、下表面構成。當兩壓電陶瓷在極化方向（3軸）受激勵電壓作用時，同時在1軸方向產生相反的擴張或收縮變形，在兩個反向變形的作用下，懸臂梁的彎曲振動被抑制，只存在沿1軸方向上的伸長或收縮變形。該電動機結構簡單，制造方便，成本低廉。
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