資料介紹
白光干涉技術(shù)(White-light interferometry technology)是在20世紀(jì)70年代發(fā)展起來的一門新技術(shù),由于它是以白光的干涉寬度作為度量單位的,所以可以檢測極其微小的位移形變,被廣泛用于光纖產(chǎn)品、材料研究、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域,具有高測量精度和高靈敏度。CCD(Charge-coupled Device)是電耦合器件,它可以把光信號轉(zhuǎn)換成電信號進行輸出,同時還具備集成度高,功耗小,噪聲低、測量精度高等優(yōu)點,在圖像傳感方面有著廣泛的應(yīng)用。目前,利用白光干涉技術(shù)進行測量的系統(tǒng)只在國外少數(shù)幾個國家中實現(xiàn)了商品化,國內(nèi)還處于研究階段。
本文研究并設(shè)計了一種基于線陣 CCD白光干涉技術(shù)的測量系統(tǒng)。通過對白光干涉條紋信號進行采集、存儲、傳輸和算法分析,從而實現(xiàn)了中央零級條紋的精確定位。白光經(jīng)過干涉之后會形成干涉信號,符合高斯分布,用高速線陣 CCD對其進行采集,轉(zhuǎn)換成電信號,再通過面向 CCD的專有 AD對此信號進行濾波降噪和A/D轉(zhuǎn)換,形成對應(yīng)的數(shù)字信號后把數(shù)據(jù)保存在 FPGA中的高速異步 FIFO中,以便于數(shù)據(jù)的存儲與傳輸,最后通過高速以太網(wǎng)的方式把采集到的干涉信號數(shù)據(jù)上傳到上位機中。此硬件系統(tǒng)是在 Xilinx FPGA的基礎(chǔ)上實現(xiàn)的。
本文還對 CCD像素定位進行了研究,以提高整個系統(tǒng)的精度。CCD在采集數(shù)據(jù)的過程中會引入諸多噪聲,而導(dǎo)致中央零級條紋不能精確定位。本文介紹并比較了線陣 CCD常見的像素定位算法,并在此基礎(chǔ)上,提出了一種改進的灰度質(zhì)心法,并對測量結(jié)果進行數(shù)據(jù)統(tǒng)計與分析,得到了更高精度的測量結(jié)果。
經(jīng)過驗證,本系統(tǒng)能夠正確對白光干涉條紋中央零級條紋進行定位,同時還有很高的精度與處理速度,具有很高的應(yīng)用價值。
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