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根據MEMS光柵的工作特點及結構參數，提取光柵的等效電容，并采用高壓運算放大器PA69研制出一種新型的MEMS光柵的動態驅動電路。為了避免自激振蕩的發生，電路中采用了頻率補償和并聯反饋電容的方法，有效提高了電路的穩定性。經過測試，其動態性能與PSPICE10仿真的結果非常吻合。該動態驅動電路完全能夠滿足MEMS光柵動態復雜控制的需要。
- Abstract:
- ?This paper has extracted the equivalent capacitance of the MEMS programmable grating based on its work characteristics and structure parameters, and developed an innovative dynamic driving circuit for MEMS programmable grating by using high-voltage amplifier PA69. There are two methods to avoid self oscillation: frequency compensation and feedback capacitance,which effectively improved the stability of the circuit. The dynamic performance of the circuit has been tested in practice, which matches the PSPICE10 simulation results very well.This driving circuit is appropriate for controlling MEMS programmable grating in complicate and dynamic conditions.??
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