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電子發燒友網>電子資料下載>模擬數字>COMSOL系列資料_MEMS模塊簡介

COMSOL系列資料_MEMS模塊簡介

2015-12-31 | pdf | 2842KB | 次下載 | 免費

資料介紹

MEMS 模塊用于仿真器件的穩態和動態性能,并能夠耦合基于電路的主動和被動器件,處理 MEMS 傳感器和執行器中廣泛存在的物理現象。該模塊的物理場接口可用于模擬結構力學、靜電、電流、壓電、壓敏電阻、薄膜流體流動、傳熱和電路。這些物理場接口也能夠任意耦合在一起來求解多物理場問題,并且一系列預置耦合也可用于 MEMS 物理場接口,包括機電(耦合靜電力和結構力學)、焦耳熱、焦耳熱和熱膨脹,以及流固耦合。
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