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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>基于鈷硅化物電遷移現象的電熔絲器件的優化設計與研究

基于鈷硅化物電遷移現象的電熔絲器件的優化設計與研究

2010-01-20 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

資料介紹

設計了一種完全兼容現有 0.18μm 標準CMOS 工藝的,利用電遷移現象的,價格低廉
的電熔絲器件結構。結果表明,在該結構下,通過優化參數,所獲得的eFUSE 器件結構,熔斷電阻高達107 歐姆數量級,熔斷率高達99%,解決了傳統結構下中熔絲熔斷后電阻太小,局部過熱可能產生爆裂的問題。
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