資料介紹
利用太陽(yáng)能有許多優(yōu)點(diǎn),光伏發(fā)電將為人類提供主要的能源,但目前來(lái)講,要使太陽(yáng)能發(fā)電具有較大的市場(chǎng),被廣大的消費(fèi)者接受,提高太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率,降低生產(chǎn)成本應(yīng)該是我們追求的最大目標(biāo),從目前國(guó)際太陽(yáng)電池的發(fā)展過(guò)程可以看出其發(fā)展趨勢(shì)為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。從工業(yè)化發(fā)展來(lái)看,重心已由單晶向多晶方向發(fā)展,主要原因?yàn)椋唬?]可供應(yīng)太陽(yáng)電池的頭尾料愈來(lái)愈少;[2] 對(duì)太陽(yáng)電池來(lái)講,方形基片更合算,通過(guò)澆鑄法和直接凝固法所獲得的多晶硅可直接獲得方形材料;[3]多晶硅的生產(chǎn)工藝不斷取得進(jìn)展,全自動(dòng)澆鑄爐每生產(chǎn)周期(50小時(shí))可生產(chǎn)200公斤以上的硅錠,晶粒的尺寸達(dá)到厘米級(jí);[4]由于近十年單晶硅工藝的研究與發(fā)展很快,其中工藝也被應(yīng)用于多晶硅電池的生產(chǎn),例如選擇腐蝕發(fā)射結(jié)、背表面場(chǎng)、腐蝕絨面、表面和體鈍化、細(xì)金屬柵電極,采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)可使柵電極的寬度降低到50微米,高度達(dá)到15微米以上,快速熱退火技術(shù)用于多晶硅的生產(chǎn)可大大縮短工藝時(shí)間,單片熱工序時(shí)間可在一分鐘之內(nèi)完成,采用該工藝在100平方厘米的多晶硅片上作出的電池轉(zhuǎn)換效率超過(guò)14%。據(jù)報(bào)道,目前在50~60微米多晶硅襯底上制作的電池效率超過(guò)16%。利用機(jī)械刻槽、絲網(wǎng)印刷技術(shù)在100平方厘米多晶上效率超過(guò)17%,無(wú)機(jī)械刻槽在同樣面積上效率達(dá)到16%,采用埋柵結(jié)構(gòu),機(jī)械刻槽在130平方厘米的多晶上電池效率達(dá)到15.8%。
下面從兩個(gè)方面對(duì)多晶硅電池的工藝技術(shù)進(jìn)行討論。
2. 實(shí)驗(yàn)室高效電池工藝
實(shí)驗(yàn)室技術(shù)通常不考慮電池制作的成本和是否可以大規(guī)模化生產(chǎn),僅僅研究達(dá)到最高效率的方法和途徑,提供特定材料和工藝所能夠達(dá)到的極限。
2.1關(guān)于光的吸收
對(duì)于光吸收主要是:
(1)降低表面反射;
(2)改變光在電池體內(nèi)的路徑;
(3)采用背面反射。
對(duì)于單晶硅,應(yīng)用各向異性化學(xué)腐蝕的方法可在(100)表面制作金字塔狀的絨面結(jié)構(gòu),降低表面光反射。但多晶硅晶向偏離(100)面,采用上面的方法無(wú)法作出均勻的絨面,目前采用下列方法:
[1]激光刻槽
用激光刻槽的方法可在多晶硅表面制作倒金字塔結(jié)構(gòu),在500~900nm光譜范圍內(nèi),反射率為4~6%,與表面制作雙層減反射膜相當(dāng)。而在(100)面單晶硅化學(xué)制作絨面的反射率為11%。用激光制作絨面比在光滑面鍍雙層減反射膜層(ZnS/MgF2)電池的短路電流要提高4%左右,這主要是長(zhǎng)波光(波長(zhǎng)大于800nm)斜射進(jìn)入電池的原因。激光制作絨面存在的問(wèn)題是在刻蝕中,表面造成損傷同時(shí)引入一些雜質(zhì),要通過(guò)化學(xué)處理去除表面損傷層。該方法所作的太陽(yáng)電池通常短路電流較高,但開(kāi)路電壓不太高,主要原因是電池表面積增加,引起復(fù)合電流提高。
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