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針對傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線輸出功率較低的問題，設(shè)計(jì)了一種基于金屬陣列等離子體共振增強(qiáng)的太赫茲光電導(dǎo)天線，以提高太赫茲光電導(dǎo)天線的輸出功率。通過對電磁波和半導(dǎo)體的物理場進(jìn)行了理論分析，并建立了太赫茲光電導(dǎo)天線模型，利用COM-SOL多物理場有限元軟件進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn)研究。仿真計(jì)算了金屬陣列等離子體共振增強(qiáng)結(jié)構(gòu)不同周期寬度與高度下半導(dǎo)體基底對800 nm激光的光吸收量，得到了一種優(yōu)化的金屬陣列等離子體共振增強(qiáng)結(jié)構(gòu)，然后計(jì)算該結(jié)構(gòu)的太赫茲光電導(dǎo)天線的光電流，同時(shí)仿真計(jì)算了傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線的光電流。研究結(jié)果表明：設(shè)計(jì)得到的金屬陣列等離子體共振增強(qiáng)太赫茲光電導(dǎo)天線比傳統(tǒng)太赫茲光電導(dǎo)天線光電流增強(qiáng)了約20倍，為等離子體共振增強(qiáng)的太赫茲光電導(dǎo)天線提供了依據(jù)。
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