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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>射頻電源的工作原理是什么樣的?

射頻電源的工作原理是什么樣的?

2018-09-27 | rar | 0.22 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  CX系列射頻電源是一款應(yīng)用在半導體領(lǐng)域的高頻功率放大器,他是一款等離子體發(fā)生器。其主要功能為半導體的等離子刻蝕,PECVD,PVD,濺射鍍膜等提供高頻等離子體激勵.

  射頻電源內(nèi)部工作原理如下:

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