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TFT基本架構及原理
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意圖
GE 信號OFF時Source和Drain是一斷路狀態電流無法流通使pixel充電GEG-SiNxa-SiSourceDrain電流GE 信號ON時Source和Drain是一通路狀態電流由Drain經a-Si流向Source使pixel充電Each blade Hyper-shot前后都有石英玻璃，前板的玻璃，內側鍍有Cr，為防止particle掉在pattern上，另一側都有保護玻璃，鍍Cr理由在于其低反射率(Stepper內部，避免光到處亂反射，因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路徑是固定不變的，當采用Normal或Hyper-shot的方式時，前板、后板便移動到光路徑上交錯去define出所要曝光的區域。在前板的上方、后板的下方采漸層的coating，寬度大約4.0 mm (投影在Stage約5mm)，Hoper-shot關鍵在于此漸層coating(控制y軸的overlap)以及blade左、右移動速度的control(控制x軸的overlap)，此漸層coating以及等速度的控制可以讓光有intensity變化。
shot的repeat的動作時，因為擔心shot的接合處不佳，因此設計上會讓shot在接合處overlap 2um,在接縫處讓能量產生漸進式的變化,來達成無縫的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的區域，在y軸是采用漸層coating，而x軸則是控制速度。
Hyper-shot mode下，移動blade的傳動軸以x軸最為頻繁，所以在做Hyper-shot保養時x軸大約1個月保養1次，y軸則是大約半年做一次。
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意圖
GE 信號OFF時Source和Drain是一斷路狀態電流無法流通使pixel充電GEG-SiNxa-SiSourceDrain電流GE 信號ON時Source和Drain是一通路狀態電流由Drain經a-Si流向Source使pixel充電Each blade Hyper-shot前后都有石英玻璃，前板的玻璃，內側鍍有Cr，為防止particle掉在pattern上，另一側都有保護玻璃，鍍Cr理由在于其低反射率(Stepper內部，避免光到處亂反射，因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路徑是固定不變的，當采用Normal或Hyper-shot的方式時，前板、后板便移動到光路徑上交錯去define出所要曝光的區域。在前板的上方、后板的下方采漸層的coating，寬度大約4.0 mm (投影在Stage約5mm)，Hoper-shot關鍵在于此漸層coating(控制y軸的overlap)以及blade左、右移動速度的control(控制x軸的overlap)，此漸層coating以及等速度的控制可以讓光有intensity變化。
shot的repeat的動作時，因為擔心shot的接合處不佳，因此設計上會讓shot在接合處overlap 2um,在接縫處讓能量產生漸進式的變化,來達成無縫的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的區域，在y軸是采用漸層coating，而x軸則是控制速度。
Hyper-shot mode下，移動blade的傳動軸以x軸最為頻繁，所以在做Hyper-shot保養時x軸大約1個月保養1次，y軸則是大約半年做一次。
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