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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>高靈敏度差分電容檢測電路的研究

高靈敏度差分電容檢測電路的研究

2010-04-26 | rar | 155 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘 要:?? 基于微機械工藝制作的加速度計,許多都是采用差動結構電容的變化來反映被測量的方向和大小。針對該需?求研制了檢測微小電容變化的電路。它檢測電容變化的頻率范圍為D C~3 0?k Hz ,對寄生電阻、電容本質不敏感,既可以?檢測單邊電容變化,也可以檢測差動電容變化,而且很容易由分離電路元件實現。該電路輸出噪聲極低 ,標稱電容為1 0p F時,電容檢測分辨率可達3?a F/ ~ /Hz ,和量程為1g的電容加速度計連接 ,輸 出靈敏度為4 .5??V/g,加速度檢測分辨率可達7×1 0? g/~ /Hz 。?
關鍵詞:?? 電容加速度計;?? 差分測量;?? 差分電容一 電壓變換器
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