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一
、高純多晶硅
1．概述
硅是地球上含量最豐富的元素之～ ，約占地殼質量的
25．8％ ，僅次于氧元素，居第二位。硅在地球上不存在單質狀
態，基本上以氧化態存在于硅酸鹽或二氧化硅中，其表現形態
為各種各樣的巖石，如花崗巖、石英巖等。
硅是一種半導體元素，元素符號為Sj，位于元素周期表
的第三周期第四主族，原子序數為1 4，原子量為28．0 855。
硅材料的原子密度為5．OOx1022／cm。，熔點為1 41 5~C，沸
點為2 355~(2。它在常溫(300K)下是具有灰色金屬光澤
的固體，屬脆性材料。硅材料有多種形態，按晶體結構，可
分為單晶硅、多晶硅和非晶硅
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