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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>TRIPLE RESURF結構的LDMOS器件設計

TRIPLE RESURF結構的LDMOS器件設計

2017-11-02 | rar | 0.70 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  隨著集成電路的發展,尤其是智能功率集成電路的發展,對功率器件提出了越來越高的要求。LDMOS由于它的電極均可以在器件的表面引出,因而可以與主流的VLSI集成電路丁藝技術相兼容,成為了功率集成電路的首選,并廣泛應用于LED驅動電源管理汽車電子等領域。對于LDMOS來說,比導通電阻和擊穿電壓是兩個重要的參數,同時相互影響,降低比導通電阻和提高擊穿電壓是器件的設計與研究的熱點與難點。目前采用的技術主要有以下幾種:場板技術,橫向變摻雜技術,埋層技術,超結技術,降低表面電場(RESURF)技術等技術,它們對器件擊穿電壓和比導通電阻的改善起到了很大的作用。

  RESURF技術是在LDMOS器件設計中廣泛應用的一種技術,它是利用橫向與縱向兩個PN結的耗盡層相互作用,就是器件在表面電場達到臨界電場之前,使漂移區在縱向上完全耗盡,從而使擊穿點由表面轉移到體內,進而提高擊穿電壓。目前研究最多的是雙RESURF LDMOS器件,它是在單RESURF的基礎上,在漂移區頂部注入與漂移區摻雜相反的雜質,利用其輔助耗盡來改善器件的性能。

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