很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。 MEMS（MicroElectromechanical System）是這種小型產(chǎn)品的相關(guān)技術(shù)之一。MEMS可以檢測環(huán)境的變化并通過微型電路產(chǎn)生相關(guān)反應(yīng)。MEMS的主要部分包括sensor（微傳感器）或actuator（微執(zhí)行器）和transducer（轉(zhuǎn)換裝置），其中sensor可以檢測某種物理，化學(xué)或生物的存在或強度，比如溫度，壓力，聲音或化學(xué)成分，transducer會把一種energy轉(zhuǎn)換成另外一種（比如從電信號到機械波）。

　　目前MEMS被廣泛的利用在多個領(lǐng)域里。

　　這篇文章主要說說MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品SAW，BAW， FBAR filter，也是目前手機中最常用的幾種filter。 SAW，BAW和FBAR中，A都代表著Acoustic。Acoustic wave中文翻譯成聲波，聲波按頻率分成3段，audio， infrasonic（次聲波） 和ultrasonic（超聲波）。 Audio的頻率為20Hz ~ 20KHz， 是人耳能聽見的范圍。 Infrasonic（次聲波）是低頻率，20Hz一下，人耳聽不到，可以用來研究地理現(xiàn)象（比如地震）。 Ultrasonic（超聲波）是20KHz到10 9KHz，也是人耳聽不到的范圍。下面提到的聲波都是超聲波的范圍，首先我們看看SAW filter。

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